中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9284327 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCAは、半導体製造用に設計された高速で洗練されたウェーハ試験および計測機器です。高解像度の自動イメージングと半自動測定を組み合わせ、半導体ウェーハの詳細な解析と評価を可能にし、優れた再現性と精度を実現します。KLA RS 55 TCAには、最大8インチのウェーハに対応できるオーバーヘッドテレセントリック光学システムが搭載されています。この装置は、顕微鏡とマクロの両方の特徴を含むテストウェーハの高精度なイメージングと、走査型電子顕微鏡（SEM）機能を備えた3D深度プロファイリングを可能にします。この統合されたイメージングマシンは、0。5ミクロンの画像分解能の偏差を提供します。高解像度イメージングツールを使用すると、ナノスケールの欠陥、薄膜の厚さ、重要なパラメータ測定を検出できます。オーバーレイ、フォーカスおよび反復性、分光比較、欠陥検出、パターンマッチング、エッチング深さなどの自動測定は、すべてTENCOR RS-55/TCAの計測機能によって有効になります。さらに、KLA RS-55 TCAには、検査結果の自動解析およびレポート作成用に設計された高度なソフトウェアが付属しています。このソフトウェアは、資産計測を制御し、パラメータを測定し、さまざまな形式でレポートを生成することができます。例えば、このソフトウェアには統計的プロセス制御（SPC）や問題解決ツール、カスタマイズ可能なマスク制限データベースが装備されています。最後に、TENCOR RS-55 TCAは、気候制御された動作を備えており、複数のウェーハを同時に動作させても最高レベルの精度と再現性を確保するために、非の打ちどころのない温度と低い変動を維持することができます。PROMETRIX RS 55 TCAはパワフルで信頼性の高いウェーハテストおよび計測モデルで、最高クラスの精度と再現性を備えた精密なイメージングおよび測定機能を提供します。これは、高解像度のイメージングと迅速な納期を必要とする半導体製造および試験アプリケーションに最適なソリューションです。