中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9281547 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCAは、高度なウェーハおよびチップ設計の特性評価のための包括的な計測ソリューションを提供するために考案された最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは統合されたシステムであり、様々な高さのウェーハ設計に完全な分析と性能評価を提供するいくつかの機能を備えています。KLA RS 55 TCAは、欠陥検査のための高度なレーザーベースの技術を採用しています。このユニットで使用されるレーザーベースの技術は、明るいフィールド、暗いフィールド、カラーメトロロジー用のコンパクトデュアルモード（CDM）イメージングマシンであり、オプションのCDMインラインオーバーレイ測定により、より小さな欠陥を検出します。さらに、光学ブライトフィールドやダークフィールド、計測、オーバーレイなど、複数の自動化された非レーザー光学設計ツールをツールに含めることができます。デュアルビュー光学アセットにより、複数のウェハサイトで同時欠陥検査とオーバーレイ計測が可能です。XY軸で最大500mmの視野を持ち、最大作動距離は4〜5mmです。基板表面から0。25 μ m程度の小さな欠陥を判別・測定することができます。その他、高速ラインスキャンモードや、専用の信号処理アルゴリズムを備えた広範なムラ測定範囲などが特徴です。このシステムは高速な画像解析フレームワークを搭載しており、コンピュータの負荷を低減することで、より高速な画像処理時間を実現します。これは、独自に設計された統合されたウェーハ入出力オートメーションユニットによってサポートされており、高スループットを実現します。ハードウェア機能に加えて、TENCOR RS-55/TCAには、分析および監視機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供する高度なソフトウェアパッケージが装備されています。このソフトウェアは、欠陥マップ、トレンドグラフ、欠陥管理/統計プロセス制御（SPC）など、プロセスサイクルに関する包括的なレポートを提供できます。ソフトウェア駆動型マシンは、効率的なデータ収集を可能にし、品質と歩留まりの損失の特定、優先順位付け、削減を支援します。PROMETRIX RS-55 TCAは、高度なウェーハおよびチップの包括的な試験および計測のための包括的で費用対効果の高いソリューションです。信頼できるパフォーマンスを提供し、完全な評価サイクルのためのエンドツーエンドの分析を提供します。