中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9265521 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55は、半導体業界のニーズを満たすように設計されたウェーハ試験および計測機器です。ウェーハ表面を分析し、その電気特性を測定するために使用できます。KLA RS55は、高度な光学計測、抵抗計測、静電容量計測機能を1つのシステムで提供し、複数のテストシステムの必要性を軽減します。この高性能ユニットは、信頼性の高いデータ品質を提供しつつ、データ取得、分析、速度において非常に正確で効率的です。このマシンは、直径300mmのウェーハに対応できる4軸電動XYZステージで設計されています。これにより、ウェハトポグラフィーマッピングが可能になり、サブナノメートルの精度で小距離変動を測定することができます。また、画像取得のためにサンプルを手動で回転させる必要がない4クアドラントウェハチャックも含まれています。TENCOR RS 55に高精度で抵抗および容量性パラメータを測定するために目盛りが付いているレーザーの光学散乱用具があります。このアセットには、光学カラム内にあるパルス干渉計が装備されており、非常に小さな表面形状と粗さの変化を検出するための参照ビームとして機能します。この測定機能により、このモデルは集積回路の製造プロセスの多くのステップに理想的です。PROMETRIX RS-55のソフトウェアはプログラムが簡単で、包括的な分析と結果計算を提供します。また、半導体プロセスRS55評価するために、ウェーハの高解像度画像をレンダリングし、統計解析を行うことができます。この機器は、自動ウェーハ試験および計測のための追加のソフトウェアツールと統合することもできます。全体として、KLA RS 55は、半導体業界の厳しいニーズに対応するように設計された、高度で信頼性の高いウェーハ試験および計測システムです。比類のない精度、信頼性の高いレポートによる効率的なデータ取得、直感的なユーザーインターフェイスを備えた豊富なソフトウェアにより、高精度の計測機能を提供します。これにより、あらゆる半導体メーカーに最適な試験および計測ユニットとなります。