中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9121410 を販売中

ID: 9121410
ウェーハサイズ: 8"
Wafer metal metrology tool, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55は、最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは、フロントエンド部品とバックエンド部品の両方を含むさまざまな半導体デバイスの正確な測定を提供するように設計されています。このシステムは、広範な計測機能と高度な試験および測定技術を組み合わせて、比類のない精度と再現性を提供します。このユニットには、ウェーハテストと計測のためのいくつかのツールがあります。その主なコンポーネントは次のとおりです。-Wafer Turret: in-situウェーハタレットは、オンザフライウェーハテストのための自動化されたソリューションを提供します。150mmウェーハに対応できる8つのポートと、さまざまな試験ニーズに対応するさまざまなプローブを備えています。-エッチチャンバー:高度なUVエッチチャンバーは、エッチング層の正確なテストを確実にするように設計されています。高解像度のマルチウェーハイメージングマシンと、再現性と精度の自動アライメントツールを備えています。-計測ステーション:計測ステーションは、高度な測定ニーズのための高度なツールの包括的な範囲を提供しています。最新のレーザー干渉計や音響顕微鏡、走査型電子顕微鏡(SEM)など、さまざまなプローブが含まれています。-ソートステーション:ソートステーションは、テスト結果に基づいてウェーハのソートを提供します。インラインと自動化されたテストアルゴリズムの組み合わせを使用して、欠陥のあるウェーハを識別および分離します。KLA RS55は直感的なユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供し、迅速なセットアップと使用を可能にします。スケーラブル性が高く、様々な研究や生産アプリケーションに適しています。また、既存の生産システムに簡単に統合できます。この資産は、安全性と信頼性を念頭に置いて設計されています。それは最適なパフォーマンスと信頼性を確保するために、いくつかの冗長システムを持っています。さらに、このモデルはRoHSに準拠しており、ガスおよび冷却システムは安全基準を満たしているか超えています。高度なウェーハテストと計測機能に加えて、ソフトウェアとハードウェアソリューションの両方を提供しています。これにより、他のテスト技術やプラットフォームとの迅速なカスタマイズと互換性が可能になります。全体として、TENCOR RS 55は、比類のない精度と再現性を提供する高度なウェーハテストおよび計測システムです。これは、研究および生産アプリケーションの両方に最適であり、さまざまなニーズに非常にスケーラブルです。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、安全機能、高度な計測ツールにより、あらゆる半導体テスト環境に最適です。
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