中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293820679 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55ウェーハテストおよび計測機器は、ウェーハテスト、分析、検査の自動化ソリューションです。半導体ウェーハの物理的および電気的性能を高速、正確、再現可能に解析できます。このシステムは、CD/Critical Dimension、 OPC/Optical Probe Correction、欠陥レビュー、CD Uniformity High Frequency Metrology、 Total Soundness、 （Visual、 Chip-Off、 Bump Contamination）などの高度なイメージング、分析を組み合わせています。また、シリコンウェーハおよびデバイスの高解像度イメージングおよび解析にも対応しており、デバイスのパフォーマンスとウェーハ製造プロセスの最適化に関する深い洞察を提供します。KLA RS55ユニットは、モジュラーロボットベースのハンドリングツール、デュアルステージ光学プローブ、イメージング用の高解像度カメラ、および統合されたコンピュータ制御ネットワーク資産を備えたオープン構成可能なマシンアーキテクチャを備えたプラットフォームに基づいています。工具の寿命と精度に最適化されており、複数の平面でのアライメント最適化や機械スキャンなどの高度な機能を可能にする多くの機能を備えています。これは、イメージングが可能であり、また、高度な光学計測ツールの完全なスイートが含まれています。TENCOR RS 55の検査モデルは、さまざまなウエハサイズ、複雑なパターンジオメトリ、高解像度の空間位置のカバレッジを提供し、高い適応性を備えています。その結果、CD構造、CD Uniformity、および3Dトポグラフィの超低線量イメージングをサポートします。また、FBRMデバイスは、CD非均一性を検出するだけでなく、CD/OCD、 OPC/OPC/OCD、 FEOL/BEOL/FEROL、 RUN-SECTIONALメソッドのCD構造とCDの均一性を光学的に特徴付けることができます。さらに、KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55システムは、自動化されたウエハカセットインターフェイス、DGCデータベースユニフィケーション、およびユーザーフレンドリーなウエハベースのユニット制御により、スループットの最適化を可能にするように設計されています。TENCOR RS55は、機械最適化のための高度なソフトウェアアルゴリズムを使用して、重要なパフォーマンスパラメータとPID温度および圧力セットポイントを監視および制御することにより、プロセス制御の最適化をサポートします。さらに、このツールは洗練された自動化を備えており、オペレータは最小限の間隔で資産を一晩実行することができます。結論として、KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55は、高精度、再現性、信頼性を提供する包括的なウェーハテストおよび計測モデルです。ウェーハの物理的および電気的特性を包括的にカバーするように設計されており、イメージング、計測、およびプロセス制御のための統合された機能を提供します。さらに、洗練されたオートメーションとオープン構成サポートにより、半導体ウェーハのテスト、分析、検査の厳しい要件に最適です。