中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293778052 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55は、高度な故障解析用に設計されたプロフェッショナルグレードのウェーハ試験および計測機器です。最大3つのウェーハを同時にテストし、欠陥、厚さ、裏面の清潔度、潜在的な汚染、平坦性および平坦性、厚さの均一性および表面粗さなどのパラメータに関する包括的なデータを提供する機能を備えています。その特徴の中で、このシステムは2つの高性能の真空スキャナを装備しています。スイングバー設計を採用し、ステージの傾きを調整し、スタンドオフ距離を調整します。これにより、ほとんどのウェーハの全領域を正確にスキャンできます。また、KLA RS55には高周波フォーカス制御が搭載されており、測定された表面の精密フォーカスを提供します。さらに、TENCOR RS 55はX-Yステージユニットを備えており、ウェーハの位置決めとスキャンを容易にします。これにより、スキャン領域を迅速に調整しながら、試験装置とウェーハの中心との正確なアライメントを可能にします。また、Zモーションを制御し、ウェーハと試験装置の間の理想的なスタンドオフを維持するのに役立ちます。KLA RS 55は、FPRA（フーリエ力反射計解析）、NGR（非ガウス反射率）、輪郭プロファイリングなど、幅広い試験および分析タスクにも対応しています。0。2nmから1mmのサイズの欠陥を測定するのにまた使用することができます。その高度な画像処理により、TENCOR RS-55は、サイズ、形状、位置、位相によって欠陥を正確に検出および分類することができます。RS 55にはProber Interfaceが搭載されており、ウェーハハンドリングの正確な制御と温度に敏感なパラメータの測定が可能です。マシンはまた、ユーザーがテストパラメータを定義し、スループットを最大化し、リアルタイムでテスト結果を監視することができ、完全に自動化されたテストとデータ表示を備えています。これらのすべての機能を備えたTENCOR RS55は、任意のウエハのパラメータに関する正確で信頼性の高い包括的なデータを提供します。これにより、高度な故障解析とプロセス制御に不可欠なツールとなります。