中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293751598 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55は、半導体製造に使用される最先端のウェーハ試験および計測機器です。このパワフルで汎用性の高いシステムは、正確に制御された光学系と高度な画像処理を備えており、さまざまなウェーハ形式の欠陥を迅速かつ正確に検出します。このユニットは、オーバーレイ測定、欠陥検査、焦点測定、膜厚、表面地形など、さまざまな機能をテストできます。KLA RS55には高度なオートアライメントマシンが装備されており、検出精度を向上させ、内蔵のプログラマブルロジックコントローラ(PLC)により、メンテナンス要件の低い長期運用が可能です。このツールは、人間工学に基づいたデザインで補完された堅牢な機能セットを備えているため、さまざまなレベルの技術スキルを持つ人材が簡単に使用できます。TENCOR RS 55は、さまざまなウェーハ径とテスト目的にも対応しているため、最も困難な課題にも柔軟に対応できます。TENCOR RS55は、幅広いウエハサイズとテスト目的における欠陥を検出するプロセスを容易にするために、高度なイメージングおよびエッジ検出アルゴリズムを使用して、既知のウエハデザインとテストイメージとマップを比較します。また、テクスチャ、色、サイズ、欠陥の強度の変化を検出し、欠陥を迅速かつ正確に特定することができます。さまざまな欠陥を正確に検出するために、TENCOR RS-55は、光学イメージング、電圧イメージング、ステレオ検査やトポグラフィなどの専門技術など、さまざまな検査ツールを使用しています。これにより、ウェーハ設計の全体的な品質を決定するために必要な、弓、ワープ、ライン幅、ラインエッジの粗さなどのさまざまな機能を測定することができます。PROMETRIX RS 55には高度なユーザーインターフェイスがあり、ユーザーはモデルのプログラミング、パラメータの調整、結果の保存をすばやく行うことができます。ユーザーインターフェイスにより、リアルタイムデバッグが可能になり、機器の設定をさまざまなアプリケーションに簡単にカスタマイズできます。また、画像も表示され、ユーザーは迅速かつ簡単に結果を確認することができます。全体として、PROMETRIX RS55は、さまざまなウェーハフォーマットの欠陥を正確かつ迅速に検出できる、時間テスト済みで信頼性の高いウェーハテストおよび計測システムです。その洗練されたイメージング技術、豊富な機能セット、人間工学に基づいた設計により、ウェーハの試験プロセスを大幅に簡素化する強力で汎用性の高いユニットです。
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