中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293747952 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55は、ウェーハ検査および計測用に設計された精密計測機器です。このシステムは、2軸ステージ、高度なイメージングオプティクス、ソフトウェア制御のモーションコントロール、さまざまなセンサーとゲージを組み合わせており、表面トポロジーと欠陥特性の完全なカバレッジと特性評価を提供します。ステージは最大375mmのX-Y動作が可能で、Z軸スキャン機能を追加することでウェハを3軸で移動させることができます。ステージはまた、低振動オプションを備えています。この光学イメージングは、レーザー共焦点プロフィロメトリー（LCP）、可視光反射（VLR）イメージング、およびスキャンホワイトライト干渉（SWLI）を組み合わせて提供され、全面イメージングと完全な欠陥カバレッジと特性評価を可能にします。モーションコントロールプラットフォームには、Siemens S7 PLCプラットフォームで動作する高性能モーションコントローラが搭載されています。このモーションコントローラは、特定のアプリケーションに応じて、開閉ループ制御の両方が可能です。このユニットは、統合された光学制御を備えており、スキャン領域全体のステージモーションを高精度に制御します。このモーションコントロールは、静電容量式タッチセンサー、レーザースキャン、欠陥解析用のX線顕微鏡など、さまざまなセンサーと統合されています。このマシンにはKLA分析および計測ソフトウェアが搭載されており、ウェーハ表面全体にわたってデバイスの完全な特性評価、欠陥解析、画像解析などの分析およびレポート機能を提供します。また、包括的な統計手法やアルゴリズムも用意されており、プロセスの最適化と欠陥解析に関するリアルタイムのフィードバックを可能にします。KLA RS55は、汎用性が高く、高度に統合された信頼性の高いウェーハテストおよび計測ツールです。高度なイメージングオプティクス、モーションコントロール、ソフトウェアコントロールを組み合わせることで、表面トポロジーと欠陥特性の完全なカバレッジと特性評価が可能になり、ユーザーは高精度な結果を得ることができます。
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