中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293717299 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55は、半導体製造時に最高レベルの性能と精度を提供するように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。デュアルビーム光学システム、ブライトフィールドおよびダークフィールドイメージング、およびシャープな光学解像度を備えています。このユニットは、多様な半導体製造プロセスにおけるウェーハの信頼性、正確性、および効率的な試験および測定を保証するように設計されています。KLA RS55は、ウェーハの精密な測定、分析、検査のために、ブライトフィールドおよびダークフィールドイメージングマシンを使用しています。ブライトフィールドツールは、自己整列されたデュアルビーム光学アセットで、より細かい特徴の正確な測定に使用され、ダークフィールドモデルは5ミクロン以上の精度で特徴を正確に描写します。このデュアルビーム装置は、明視野システムでは見えない機能の正確な検出とイメージングを可能にします。TENCOR RS 55は、レーザー干渉計（2つのコンポーネントの振動の違いを検出して距離のわずかな変化を測定する技術）を使用して、検査および計測作業中にウェーハの動きやぐらつきを検出します。さらに、0。75ミクロンの優れた光学分解能を提供することで、わずかな特徴サイズの変化でも正確に検出することができます。KLA RS 55は、包括的なソフトウェアソリューションを備えており、ユーザーはレポートの生成、傾向分析、およびテスト結果の文書化を可能にします。これには、ウェーハの位置のドリフトと光学ユニット内のアライメントを自動的に補正する画像アライメント機能が含まれています。さらに、業界をリードするサンプリングレート（毎秒最大20ウェーハ）を提供し、高速で信頼性の高いデータ収集を可能にします。RS 55の他の機能には、実績のあるイメージライブラリと高度な粒子識別ソフトウェアがあり、異なる粒子タイプを区別し、効率的なソートと分析を可能にします。さらに、ウェーハ製造プロセスに対応しており、さらなるカスタマイズと最適化が可能です。要約すると、KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55は、ウェーハテストと計測のための効果的で効率的なソリューションです。PROMETRIX RS-55は、デュアルビーム光学ツール、シャープな光学分解能、レーザー干渉計技術、完全なソフトウェアソリューションにより、高精度と高精度を提供し、製造品質と効率を向上させます。