中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293656290 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55は、半導体製造のアプリケーション向けに設計されたハイエンドウェーハ試験および計測機器です。フォトマスク、ウェハダイシングフレーム、その他の包装材料など、さまざまなウエハ基板上のさまざまなパラメータを測定することができます。KLA RS55のユニークな機能により、コストの削減、スループットの向上、生産歩留まりの向上が必要なお客様に最適です。TENCOR RS 55は、ウェーハステージングおよびハンドリングの精度と安定性を確保するために特別に設計されています。ビジョン制御の表面戦略アルゴリズムと高速真空制御ローディングステーションを備えており、ウェハを指定されたステージに迅速に配置できます。基板サイズの検出、プローブの自動アライメントにより、さまざまな材料の高分解能測定が可能です。さらに、RS-55のマルチゾーン機能により、複数のテストを同時に実行できるため、システム全体のスループットが向上します。計測の面では、RS55には統合されたデジタルパターン認識が装備されており、パターンの重要な寸法と重要なテストパラメータを正確に測定することができます。また、ウェーハの3D形態特性を可視化するために、自動化されたステインフリーの断面SEMおよび輪郭イメージングも提供します。さらに、その高度な欠陥レビューは、非常に加速されたペースで欠陥を検出し、診断するための幅広い機能を提供します。さらに、RS 55は、複雑なテストジョブを処理する際の時間と労力を節約し、アプリケーション間を簡単に移動できる統合ユニットインターフェイスを提供します。繰り返し可能なプロセス条件を保証するために再利用および変更することができる4,000までの計測レシピを保存できます。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55には、ユーザーがウェーハテストレポートを維持および分析できる高度なデータ管理機能が搭載されており、生産記録の報告と維持が容易になります。全体として、TENCOR RS-55は、コストを削減し、歩留まりを最適化し、半導体製造アプリケーションのスループットを向上させるように設計された先進的なウェーハ試験および計測機械です。インテリジェントな機能と高度な機能を組み合わせることで、現在利用可能な最も汎用性の高い堅牢なシステムの1つであり、品質重視の運用に最適なツールです。