中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293651677 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55は、半導体ウェーハの性能と品質を分析するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA RS55は、高度なイメージングおよび高度なソフトウェアアルゴリズムを使用して、ウェーハの表面の均一性、チップの歩留まり、およびウェーハの処理中および処理後の集積回路の性能を評価します。半導体デバイスやウェーハ解析向けに開発された高度なウェーハスキャン技術を搭載しています。TENCOR RS 55で使用される光学系は、デジタルピクセルアレイを備えた充電結合デバイス（CCD）を使用しており、0。5ミクロンの解像度で詳細な画像をキャプチャできます。このユニットにはアルゴリズムの豊富なライブラリがあり、ユーザーはエッジのまっすぐさ、気孔濃度、角の丸み、金型の同相性、設計エラーなど、さまざまなパラメータを測定および分析できます。結果はホストコンピュータに送信され、さらなる分析とロギングが行われます。PROMETRIX RS55には、データの精度と再現性を確保するための校正機も装備されています。この自動化されたツールは、定期的にリファレンスウェーハを測定して、ウェーハの品質の変化を時間の経過とともに検出することで、再現性の高い結果を保証します。これにより、ユーザーは資産で撮影されたすべての測定の精度に自信を持つことができます。さらに、このモデルには、1時間あたり最大700個のウェーハを迅速に測定および分析するための加速装置が含まれています。これには、ユーザー定義の基準を組み込んだインテリジェントな自動エラー処理とアラートが組み合わされ、エラーが発生したときに識別されます。高度なデータ分析および追跡ツールを使用して、プロセスの誤動作や不規則性を示す傾向やパターンを特定することもできます。RS 55は半導体製造の厳しい性能とコスト要件を満たすように設計されています。モジュラーおよびアップグレード可能なコンポーネントのフレームワーク上に構築されているため、経済的で拡張とメンテナンスが容易です。この高度なシステムは、歩留まりとプロセス効率の両方を改善するのに役立ち、メーカーは競争に先んじることができます。