中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293628451 を販売中

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55
ID: 293628451
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55は、高精細イメージングおよび分析機能を提供するウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、ウェーハ表面の電気的特性を測定して、高解像度の画像処理、欠陥検出、測定を行います。7ミクロンのレーザービームは、光学/電気測定、微細構造イメージング、3Dプロファイル計測など、さまざまな確立された検査技術を使用してサンプルの特性を分析します。KLA RS55は、自動化されたウェーハ試験および検査プロセスを備えており、前面と背面の両方の測定に対応しています。ウェーハサンプルは機械に積み込まれ、真空チャックで所定の位置に保持されます。サンプルは、その表面の特徴と電気的特性を測定する7ミクロンのレーザービームにさらされます。レーザースキャン段階は、サンプルが完全にスキャンされることを確認するために、パス間でサンプルを移動します。すべての測定値はデータベースに保存され、後でアクセスするか、さらなる分析に使用されます。TENCOR RS 55は独自のデュアルヘッド構成を採用しており、高速で信頼性の高い解析結果を提供します。このツールは、サンプルの高さ、幅、およびその他の寸法を正確に測定するための高速3Dスキャンを提供します。これにより、より正確な欠陥検出と改善されたプロセス制御が可能になります。このアセットには、サンプルのより詳細なイメージングと分析を可能にする高度な光学系も備えています。また、高解像度の光学技術と信号処理技術を使用して欠陥を識別する高度な欠陥イメージングおよび解析スイートも組み込まれています。ソフトウェアスイートには、自動欠陥のローカライズ、鳥の視線解析、断面イメージング、画像の減算などのツールが含まれています。KLA RS-55は、高度なエッジ検出および画像セグメンテーションアルゴリズムを使用して、より迅速で効率的な欠陥検出と解析を可能にします。また、信頼性の高いユーザーフレンドリーなワークフローを備えており、正確さを損なうことなく迅速なテストと計測を可能にするように設計されています。最後に、システムはオンボードデータ分析機能を備えています。これにより、データ分析に必要な時間と労力を削減し、正確なデータ検出を可能にします。これらの機能を組み合わせることで、KLA RS 55はウェハテストと計測に最適なソリューションとなります。
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