中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9238630 を販売中

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC
ID: 9238630
Resistivity mapping system 1996-1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TCは、ハイスループット生産試験およびインライン測定アプリケーション向けに設計された次世代ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、コスト効率の高いパッケージで高度な診断機能を提供し、製造メーカーは歩留まりの向上と欠陥制御の向上を利用することができます。KLA RS-55TCユニットの光学計測ヘッドは、ウェーハ表面および基板に見られる試験構造の表面および薄膜測定を提供します。これは、トップダウンおよび断面フーリエ変換赤外線(FTIR)分光、4点プローブ、干渉計、暗視野イメージング、スタイラスおよびプローブベースの技術、および高度な単粒子光学セル測定など、幅広い測定技術をサポートしています。また、偏光顕微鏡(PLM)、焦点イオンビームスキャン電子顕微鏡(FIB-SEM)、原子力顕微鏡(AFM)など、非接触分光法の選択肢もあります。これらの技術により、表面粗さ、結晶配向、粒度、組成、熱安定性など、さまざまな材料特性を詳細に検査することができます。この機械は高度に自動化されており、ユーザーは1回のショットで多くのウェーハを迅速かつ正確に測定することができます。このツールには、複数の計測モジュールが装備されているため、同時測定が可能で、精度を損なうことなく全体のテスト時間を大幅に短縮できます。さらに、TENCOR RS55/TC資産には強力な後処理機能があり、ユーザーは着信データをすばやく分析し、詳細な分析レポートを生成できます。このモデルはまた、他のシステムとシームレスに相互作用するように設計されており、複数のテストソースからのテスト結果の統合を容易にします。さらに、特定の自動テストプランを実行し、テストプロシージャの遠隔スケジューリングを可能にするようにプログラムすることができます。KLA RS55/TCは、ほとんどのウェーハテストおよび計測要件にコスト効率よく対応するための理想的な選択肢です。優れた性能、幅広い機能、自動化された機能により、大量の生産試験および検査に適しています。これは、歩留まりを最大化し、ダウンタイムを削減するための高度で信頼性の高いプラットフォームを探しているメーカーにとって優れた選択肢です。
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