中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9077700 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TCは、半導体産業に適した洗練されたウェハテストおよび計測機器です。デバイスレベルの半導体ウェーハを迅速かつ正確に検査および測定するために使用されます。このシステムは、ダイサイズ、ダイピッチ、アクティブ領域、欠陥密度、デバイスプロファイル、ライン幅、フィーチャサイズの均一性など、幅広いウエハ属性を分析することができます。KLA RS-55TCユニットは、高速測定を可能にする精密ロボティクスステージと高度なセンサーを備えています。1500wpmを超えるスループットレベルで、直径8インチまでのウェーハを処理できます。このマシンには、自動化されたウェーハマッパーと、CCDテレビカメラ、静電容量プローブ、走査型電子顕微鏡、干渉計など、さまざまな測定または検査ツールがすべて1つのモジュラープラットフォームに組み込まれています。TENCOR RS55/TCツールは、ダイレベル測定、ダイツダイ測定、またはダイツマップ比較など、さまざまな測定関連機能を提供します。欠陥の検出および分類；デバイスプロファイリング；断面解析；3D画像解析；イメージベースの故障解析。また、プロセス監視、リアルタイム欠陥検出、歩留まりスクリーニングなど、幅広いインラインプロセス制御機能を実行できます。PROMETRIX RS-55/TCは、パフォーマンスと精度を大幅に向上させる最先端のコントローラを誇っています。コントローラは高精度で、モジュラー設計により資産機能を容易に拡張できます。また、高度なデータ収集とストレージモデルを備えており、包括的なレビュー、データマイニング、レポート機能を提供します。PROMETRIX RS 55/TCは、自動化された試験技術と精密測定ツールで最高の性能を兼ね備えた、パワフルで汎用性の高い信頼性の高いウェハテストおよび計測ソリューションです。信頼性、再現性、一貫性のあるテストと結果を保証し、高品質の半導体デバイスの製造を保証します。