中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293742667 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TCは、最先端のウェーハ試験および計測機器です。6インチから300mmまでのあらゆるサイズと材料のウェーハを検査および分析するように設計されています。マイクロデンドライトから層内欠陥まで、高精度で精度の高い欠陥を識別することができます。KLA RS-55TCは、Scanning Electron Microscopy （SEM）、 Optical Microscopy （OM）、 Reflected Light Microscopy （RLM）などの標準的かつ高度な画像取得技術を使用して、さまざまな計測および画像測定を行います。自動化されたウェーハアライメントとプリアライメントにより、高いスループットと大規模なウェーハテストに最適です。機械には独自の欠陥認識アルゴリズムと化学機械研磨（CMP）解析ツールが装備されています。欠陥認識アルゴリズムは、高精度で再現性のある半導体ウェーハの欠陥を検出し、識別するように設計されています。CMP分析アセットは、ウェーハ表面の高度な表面プロファイリングを可能にし、時間をかけて化学プロセスを継続的に検査することができます。TENCOR RS55/TCウェーハテストおよび計測モデルには、計測検査ツール、ソフトウェア、可視化機能が豊富に含まれています。この装置は、SOI、 SiN、 SiON、フォトレジスト、金属などのさまざまなウエハータイプをすばやく検査できます。高度な目視検査および分析ソフトウェアは、欠陥、表面、または材料特性に関する情報を正確に提供します。また、プロセスモニタリングと制御、高速サンプルレートとウェハ探索、欠陥分類と特徴抽出、欠陥密度システム、オーバーレイとウェーハのアライメント、統計データのレビュー機能、マルチサイトマッピング、欠陥解析など、さまざまな信頼できる生産能力を備えています。これらのすべての機能を組み合わせることで、TENCOR RS-55/TCは、さまざまなウェーハテストおよび計測タスクに高いレベルの精度と再現性を提供できます。