中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293651524 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TCは、幅広い半導体材料で高分解能測定を行うために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。ウェーハ表面の欠陥の検出・解析、粒度測定、汚染測定などにご利用いただけます。KLA RS-55TCは4軸の横方向ステージに構築されており、主軸は左側、右側、中央にあります。これにより、さまざまなサンプル位置と相対位置決めが可能になり、1つのウエハで多数の測定を同時に行うことができます。また、プローブ/サンプルを10 μ m以内に正確に配置できる2段階の高精度XY変換ステージを備えています。このユニットには、高解像度の光学顕微鏡とビデオ顕微鏡、レーザースポッター、およびOOD （Out-of-Focus Detection）マシンも装備されています。統合された顕微鏡は、完全な視野画像だけでなく、最大45倍の拡大画像を提供し、欠陥解析のための明確で詳細な画像取得を可能にします。レーザースポッターはサンプル上の欠陥の正確な位置を決定することができますが、ODDツールは欠陥の実際の寸法を迅速に検証することができます。このアセットには、ウェハレベル分析用に特別に設計された強力な計測ツールが搭載されています。このモデルのワイドフィールドスキャン光学系には、高速データ収集および解析ソフトウェアが付属しており、結晶格子構造、表面地形、薄膜、欠陥などのウェハレベルの表面フィーチャーを高速かつ正確に測定できます。また、データ解析パッケージにより、パラメトリックイメージや3D面粗さプロファイルの生成が可能になり、半導体ウェーハ上のさまざまな表面パターンや特性の正確で高解像度のデータを提供します。TENCOR RS55/TCは、高いスループットと高精度の両方を提供する、信頼性と柔軟性の高い機器です。欠陥検査やプロセス制御などの高度なアプリケーションや、半導体ウェーハのプロセス開発や製品認定に最適です。このシステムは、SEMI S2-97 （2つの独立した光学センサーが必要）、SEMI S8-99およびSEMI S14-96などの業界標準にも準拠しています。
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