中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50e #9022721 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50eは、ウェハテストおよび計測機器です。これは、フロントエンドの半導体プロセス制御と主要なデバイスのパフォーマンス最適化のために設計されています。このシステムは、バンプやトレンチなどの平面および非平面表面の3次元ウェハレベルのマッピングと測定機能を提供します。KLA RS-50eユニットは、重要な機能サイズの測定、オーバーレイ登録、エッジ検出、微細ラインの測定など、幅広い計測機能を提供します。また、デバイスの歩留まり統計を測定し、デバイスおよびプロセス分析を提供することもできます。機械はまた不完全なダイ分析を行うことができます。TENCOR RS-50eツールは、高解像度の画像を提供しながら、非平面表面の測定に適した長距離顕微鏡を備えています。このアセットには独自のIllumination and Image Intensification （I3）テクノロジーが搭載されており、より小さな機能を測定する際のコントラストを強化できます。このモデルは、深い溝と深いV溝を測定することができます。装置は深さ8ミクロンまでスキャンできます。PROMETRIX RS-50eには、自動化されたウェーハ検査ツールのフルスイートと、ステッチやラベリングツールなどの手動操作もあります。これにより、ユーザーは幅広いウエハ解析タスクを実行できます。自動化されたウェハ検査ツールには、欠陥分類、パターン認識、サンプル識別、エッジ検出などがあります。RS-50eには、リアルタイム統計解析、仮想計測、データセットの構成と可視化、自動テストルーチン設計、自動スキャンスケジューリングなど、データ分析のための高度なシステム機能もあります。さらに、Yieldstarソフトウェアと高度な計測ツールとウェーハ検証ツールを組み合わせたYield Accelerator Package （YAP）を搭載し、デバイスの高速かつ正確な特性評価を可能にします。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50eウェーハテストおよび計測機械は、自動ウェーハ検査から高度なデータ分析機能まで、さまざまな機能を提供し、デバイスのパフォーマンスとプロセス制御の両方を監視および最適化できます。それは多目的で信頼性の高いツールであり、重要な機能サイズ、オーバーレイ登録、微細ラインの包括的な測定を提供することができます。高度なツールと機能のフルスイートにより、ユーザーはデバイスの歩留まりとパフォーマンスを最大化できます。