中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50 #9298896 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50は、製品開発、プロセス監視、故障解析、歩留まり向上のために設計されたウェハテストおよび計測機器です。半導体ウェーハの地形特性や電気特性を高速・高精度に測定します。このユニットは、自動化された光学および電気計測機能を単一のプラットフォームに組み合わせることができます。その光学計測機能は、自動化された3D非接触干渉顕微鏡（3D NCI）を使用して、欠陥のない非破壊表面トポグラフィ測定を行います。この機械の非破壊電気測定機能には、電界の高速測定、抵抗、静電容量、および電流漏れが含まれます。KLA RS-50は、Silicon-on-Insulator （SOI）、ひずみシリコン、MEMS、およびHigh-K誘電体など、さまざまな半導体および誘電技術の測定に最適化されています。150mmから700mmまでのウェーハを測定し、基板を配置するテーブルを備え、再現性のあるセットアップと精度の向上を実現しています。TENCOR RS-50は最先端の画像取得アセットを備えており、迅速なスキャンとウェハマップの自動ステッチを提供します。1〜2分でフルウェーハ画像を取得でき、最大0。75 μ mの解像度でマスクレスおよび自動欠陥レビューが可能です。このモデルの3D NCI技術は、絶縁トレンチ、接触口、ポリシリコン溝などの高アスペクト比の特徴を高解像度でマッピングします。RS-50は、プロセス制御のための計測フィードバックを提供し、プロセスエンジニアが現在のプロセスを改善したり、新しいプロセスレシピを最適化したりすることを可能にします。また、機器の柔軟なアーキテクチャにより、変化する技術やアプリケーションに容易に適応することができます。PROMETRIX RS-50は、EBBEDシート抵抗測定、変調分光法、4点式シート抵抗測定などの高度な技術を使用して、ユーザーに包括的な電気計測機能を提供します。接触抵抗、MOSコンデンサ、その他の電気パラメータを測定し、0。5 μ mまでの小さな形状を測定できます。全体として、KLAのKLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50は、製品開発、プロセス監視、故障解析、歩留まり改善のための迅速かつ信頼性の高い測定を提供する高度なウェーハテストおよび計測システムです。このユニットの自動光学および電気計測機能により、ユーザーは表面の地形を可視化し、電気特性を分析し、デバイスの性能と品質を向上させるために変更を加えることができます。