中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9354234 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35Cは、重要な半導体ウェーハ試験および計測機器です。この高精度なシステムにより、集積回路の製造において基板として使用される半導体材料の薄いディスクであるウェーハを検査・分析することができます。KLA RS-35Cは、30nmまでの小さなパターンを認識し、最高レベルのウェハマッピングを提供する、多くの重要な機能を誇っています。さらに、イメージベースの分類機能を搭載し、優れた欠陥検出機能を提供します。TENCOR RS 35Cの高精度により、計測、欠陥レビュー、ウェハソート、欠陥分離、故障解析などの多くのアプリケーションに非常に役立ちます。この装置のイメージング機能により、ユーザーは個々のウェーハの特徴を正確にマッピングし、特徴サイズを測定することができ、ウェーハの詳細な検査と分析が可能になります。これにより、本番稼働にコミットする前に、動作、欠陥、汚染が確認されるようになります。TENCOR RS-35Cは、ウェーハ表面のトポグラフィをはじめ、高さ、CD/Width/space、エッジパラメータの組み合わせなど、さまざまな機能を測定します。このツールはまた、平均、ピーク高、ピークから谷までの距離、およびエリア分析を含む粗さを測定する機能を提供します。RS 35Cは自動化されたウェーハ処理アセットを使用しており、プロセス全体を通じてウェーハの処理を成功させることができます。その後の測定のためにウェーハ固有の情報が収集されるため、モデルは着信ウェーハをすばやく識別して検査することができます。効率をさらに向上させるために、機器は複数のウェーハおよびプロセス工程に構成することができます。このシステムには、データ収集と分析のための強力なオープンプラットフォームが搭載されています。複数のエンジニアリング測定システムを使用してデータを収集し、リアルタイムデータをユーザーに提供します。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 35Cはまた、ウェーハ表面の迅速な欠陥解析を可能にする多目的SWIR（短波赤外線）イメージングユニットを使用しています。したがって、PROMETRIX RS 35Cは強力で複雑なウェーハテストと計測機です。複数の測定システム、強力なオープンプラットフォーム、自動化されたウェーハハンドリングツールにより、RS-35Cは比類のないウェーハマッピング機能、欠陥検出および計測機能を提供します。KLA RS 35Cの能力は、ウェーハ製造において非常に貴重なツールであり、ウェーハの特徴を精密に分析し欠陥を分析することで、最高の生産歩留まりとコスト削減を可能にします。