中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9298820 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35Cウェーハ試験および計測装置は、さまざまな半導体ウェーハ試料の精密、再現性、正確な特性評価および分析を提供する自動装置です。ウェーハテスト、計測、均一測定の3つの機能を備えており、すべて1つのプラットフォームで実行されます。KLA RS-35Cウェハテストでは、DC、パルス、応答時間、暗い電流、および表面ノイズなどの試験片の電気特性を監視します。これは、システムの特別なプローブカードとオートステーション8の補助回路を使用することによって達成されます。プローブカードは、30 kHzから20 MHzまでのテスト周波数を実行でき、解像度は最大1Ωです。TENCOR RS 35C計測ユニットは、試験片の構造的完全性と欠陥レベルを測定します。Scanning Electron Microscope （SEM）は、高解像度および倍率での画像取得を可能にします。このマシンには可変圧力SEMが装備されており、軽量および重いデポジットウエハの両方を測定できます。さらに、斜面、プロファイル、溝の深さなど、さまざまなエクトパターン測定を行うことができます。最後に、KLA RS 35C均一測定ツールを使用すると、デバイスの特定の領域内で試験片のデバイスパラメータを迅速に測定できます。これは、ジャンクション漏れ、ジャンクション故障、スレッショルド電圧、ループ電流などの特徴を絶縁することができる高度なRGBパターン認識アセットを使用することによって実現されます。全体として、PROMETRIX RS-35Cウェーハテストおよび計測モデルは、半導体ウェーハの特性評価および分析の信頼性の高い手段を提供します。3つのプロセスを1つのコンパクトなデバイスに組み合わせることで、多種多様なアプリケーションに最適です。試験片のさまざまな特性を効率的に測定する方法を提供し、産業研究所や研究施設にとって重要なツールとなっています。