中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9293257 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35Cウェーハテストおよび計測機器は、半導体ウェーハの表面トポロジーを評価するために使用される強力で高精度で自動的なツールです。このシステムは、ウェーハ表面および関連する材料特性に関する詳細な情報を提供するために、さまざまな高度な光学、機械、および電気測定を利用しています。プローブと測定ヘッドは、地形や基板の品質のわずかな変化を検出することができる高精度のツールです。KLA RS-35Cユニットは、表面粗さ、接触角、表面プロファイル、表面傾斜、粒度、組成、表面仕上げ、表面テクスチャ、スパーク放電測定など、さまざまな表面測定および計測サービスを実行することができます。また、走査電子顕微鏡（SEM）、原子力顕微鏡（AFM）、走査トンネル顕微鏡（STM）など、さまざまな顕微鏡画像を実行します。さらに、このマシンは欠陥検出、欠陥分類、およびデバイスジオメトリを実行し、ハードウェア比較、グローバル座標およびローカル座標の特性評価、3D解析、および3Dステッチを提供します。TENCOR RS 35Cツールには、レーザー誘導蛍光を使用してウェーハ表面のさまざまな化学種を検出するラマン分光オプションが付属しています。このアセットには、粒子のサイズ、形状、組成の面で粒子特性を測定するパーティクルカウンタと、接触角度測定モデルが付属しています。後者は、材料と液体の接触角を測定するための光学技術を使用しています。RS 35C装置は完全に自動化され、コンピュータ操作され、高度な制御および処理機能の範囲を提供します。柔軟なモーションコントロールコンポーネントを備えたモジュラーアーキテクチャ上に構築されているため、高精度で自動化された操作が可能で、迅速な起動時間を実現します。また、高度な解析、デジタルイメージと信号処理、ユーザーニーズやアプリケーションに応じてツールを簡単にカスタマイズできるユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。RS-35Cシステムは、これまでにない精度、再現性、再現性を備えた再現性と信頼性の高い測定を提供し、半導体ウェーハの品質評価に最適なツールです。その柔軟性と幅広い測定および分析機能により、半導体、自動車、航空宇宙、エレクトロニクス、光学、医療産業など、さまざまな業界のウェハテストにとって貴重なツールとなります。