中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9281758 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35Cは、包括的な分析とフォルト検出機能を提供する最先端のウェハテストおよび計測機器です。半導体製造や関連産業などの高度なプロセス特性評価環境で使用できるように設計されています。このシステムには、自動、非自動、半自動のさまざまなモードが装備されており、ユーザーはウェーハをすばやく分析して処理することができます。コントラスト強化イメージング、欠陥検査、自動欠陥分類、欠陥検出など、高度な計測機能を備えた高度な高解像度イメージング技術を搭載しています。また、ライン幅、クリティカル寸法測定、オーバーレイ測定、オンウェーハ応力測定など、さまざまな自動測定が可能です。統合されたリソグラフィ機能により、ユーザーはウェハエリア全体にわたって正確なパターンを作成できます。このツールのもう1つの重要なコンポーネントは、オンボード分析ツールです。KLA RS-35Cは、さまざまなソフトウェアパッケージを使用して、ユーザーがデータを分析するのに役立ちます。ウェハマッピングアセット、シミュレータ/アナライザ、データレビューアなどのツールにより、ウェハサーフェスを簡単かつ包括的に検査できます。さらに、このモデルは、パラメータ最適化のために統合されたグラフィカルユーザー入力を利用し、欠陥検出および解析のためのさまざまな解析アルゴリズムを備えています。TENCOR RS 35Cを使用すると、ユーザーは関連するプロセスデータを正確かつ迅速に収集できます。さらに、このデータを他のデータ源と組み合わせることで、ユーザーがプロセス制御パラメータを最適化できる包括的なメトリックを作成できます。また、精度の高い検出・測定機能により、確立された品質基準を高いレベルで遵守することができます。全体として、RS 35Cはウェーハテストと計測システムが可能であり、ユーザーはプロセスデータを迅速かつ正確に収集することができます。自動化された機能と自動化されていない機能の範囲は、高解像度のイメージングおよび計測機能と組み合わせて、高度なプロセス特性評価環境に最適なソリューションです。