中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9276502 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35Cは、精度と再現性のための最も厳しい要件を満たすように設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。これは、半導体材料に関連するさまざまな特性の自動化、加速化、および非常に正確な測定を可能にする一連のコンポーネントで構成されています。システムの最初の要素は、個々のウェーハの構造と特徴を正確に検査するための基礎である光学ゾーンセンサーです。特殊光学系、エレクトロニクス、ソフトウェアを一体化したスキャナーユニットで、ナノメートルスケールまで、ウェーハの小さな部分で詳細な測定が可能です。最小の機能サイズで幅広いパラメータを測定できるため、複数の速度と解像度でスキャンすることができ、幅や奥行きなどのウェハフィーチャー特性を迅速かつ正確に測定できます。このツールの光学レチクルにより、ウェーハパターンの完全な3次元解析が可能になります。このアセットは非常に正確で、ナノメートル分解能レベルまで様々なパターンを分析することができます。また、光学レチクルは特殊な光学系とソフトウェアを採用しており、ウェーハ表面の粒子サイズを非常に正確に測定することができます。このモデルにはMicroStepper装置も搭載されており、はんだバンプや汚れなどの物体が存在する場合でも、ウェーハ表面にミクロンサイズの設計機能を多方向に測定できます。このシステムは、2方向以上から測定することができるため、高精度でナノメートルスケールまで測定することができます。KLA RS-35Cユニットには、スキャナと光学レチクルの光学系をウェーハ表面のあらゆるパターンに素早く正確に合わせるように設計された洗練されたアルゴリズムであるAutoAlignマシンも含まれています。これは、ツールによって撮影された各測定が正確かつエラーなしであることを保証します。最後に、ステーションにはVacuum Chuckアセットが含まれており、測定中にウェーハが完全に平行でレベルが高いことを保証します。ウェーハの位置のわずかなばらつきが結果の不整合につながる可能性があるので、これは非常に重要です。要するに、TENCOR RS 35Cは、高精度のウェーハ試験と計測のためのソリューションを提供します。このモデルは、オプティカルゾーンセンサー、オプティカルレチクル、MicroStepper、 AutoAlign、 Vacuum Chuckなどの一連のコンポーネントを使用して、テストされたウェーハに非常に正確で信頼性の高い解析を提供するように設計されています。