中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9266468 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35Cは、半導体ウェーハおよびデバイスの自動テストおよび分析を可能にするように設計されたウェーハ試験および計測機器です。レーザースキャン、自動欠陥認識と分類、臨界寸法（CD）測定、高度欠陥解析を用いて半導体構造のプロファイルと特性評価を行っています。KLA RS-35Cユニットは、可変入射角を持つ非接触レーザースキャン顕微鏡を使用して、試験中のデバイスの詳細な地形画像を生成します。この顕微鏡は高速、360度の自動ウェーハスキャンのための多軸電動ステージと結合されます。このマシンのソフトウェアベースのインテリジェント欠陥検出アルゴリズムは、広範な画像解析を実行して欠陥を検出、分類、保存します。このインテリジェント欠陥検出アルゴリズムは、欠陥分布および歩留まり評価に関する詳細な指標を含む検査レポートを生成することもできます。TENCOR RS 35Cは、パワフルなCD計測機能も備えています。これには、ライン、スペース、およびデバイスのその他のミニチュア機能の高速かつ正確な測定が含まれます。このツールは、光学ビデオ顕微鏡と高速ビデオ画像処理アセットを使用して、CD機能を迅速に測定および分析します。CD測定に続いて、モデルのソフトウェアは、歩留まりのパフォーマンスと傾向を監視するためのCD測定の包括的な統計分析を提供します。CD計測機能に加えて、RS-35Cには高度なプロセス制御およびデバイス解析ツールが装備されています。赤色光イメージング機能を強化した欠陥解析装置と、故障したデバイスを特定して解析するハードウェアアクセラレーション画像処理機能を備えています。分析レポートには、プロセス制御のための詳細な欠陥メトリクスと、欠陥デバイス分析のためのデバイスレベル分析が含まれています。全体として、RS 35Cは、非接触レーザースキャン、自動欠陥認識、CD計測、プロセス制御、不良デバイス解析を1つのプラットフォームで組み合わせた信頼性の高い効率的なウェハテストおよび計測機器です。半導体デバイスやウェーハの高速かつ徹底的な検査・分析を可能にし、高感度な半導体デバイスの信頼性の高い性能を保証します。