中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9266466 を販売中

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C
ID: 9266466
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Resistivity mapping system, 8" 1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35Cは、大量の高スループット性能を実現するために設計された動的ウェーハ試験および計測機器です。KLA RS-35Cは、以前のRS-35システムからのアップグレードであり、より高度な表面計測、欠陥検査、および電気的IV試験が可能です。TENCOR RS 35Cは、最先端のレーザーベースのイメージング技術を使用して、これまでにない精度でナノメートルスケールの3次元ウェーハ画像を作成します。ユニットに統合された高度な画像解析は、さまざまな種類の欠陥を検出し、重症度レベルに応じて分類されます。また、漏れ電流、スレッショルド電圧、ドレンソース電流などの複数のパラメータを含むウェーハの電気特性を測定することができます。さらに、PROMETRIX RS-35Cには独自の機能「ホットチャックテスト」があります。これは、ツールがウェーハの電気特性を測定しながら暖かい環境にあるため、より正確な結果を得ることができます。ホットチャックテストを補完するために、アセットには高解像度のXYスキャナも装備されており、より大きなウェーハで高精度な測定が可能です。スループットと効率を向上させるために、RS 35Cには、あるステーションから別のステーションへウェーハを転送する「ウェーハ転送モデル」が含まれています。TENCOR RS-35Cには真空装置があり、ウェーハをシステム内およびシステム外に素早く収集および解放することができます。RS-35Cは、あらゆる本番環境の特定のニーズに対応するために、幅広いソフトウェアアドオンとアップグレードを使用して高度にカスタマイズ可能です。このソフトウェアは、ユニットの光学、電気、および機械システムを制御し、スムーズで効率的なパフォーマンスを実現します。さらに、このマシンは、簡単な制御とアクセスのためのユーザーフレンドリーなインターフェイスで設計されています。全体として、KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 35Cは、パフォーマンスと信頼性の高い結果を提供する強力で高度にカスタマイズ可能なウェーハテストおよび計測ツールです。アセットは、精度を確保し、プロセスのパフォーマンスを向上させるために高度な画像解析および電気試験技術を使用しています。KLA RS 35Cは、幅広い機能とカスタマイズの可能性を備え、効率的な生産ライン管理に最適です。
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