中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9226185 を販売中

ID: 9226185
ウェーハサイズ: 6"
Four point prober, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35Cは、高レベルの計測およびウェーハテスト精度を提供するように設計されたウェーハテストおよび計測機器です。システムは完全に自動化され、自己校正され、最高レベルの精度と再現性を提供します。ウェーハ表面において、線、スペース、筆記線、接触穴など様々な構造物を測定することができます。KLA RS-35Cにはロボット工学のユニットが内蔵されており、必要な測定値をリアルタイムで迅速に取得できます。これにより、オペレータが特定のサンプルごとに機械を手動で調整する必要がなくなります。このツールはまた、自動データ低減と解析を提供し、地形、均一性、反射率などの幅広いウエハーパラメータを測定することができます。TENCOR RS 35Cは、検査や計測に使用されるさまざまなプローブカードやレーザーモジュールと互換性があります。ウエハの幾何学やシリコン、ヒ素ガリウム、III-V化合物などの材料を扱うように設計されています。最大4つのウェーハを同時に分析し、高精度で詳細な検査と計測データを生成します。TENCOR RS-35C資産は、オンサイトプロセス制御、欠陥解析、ウェーハ認定のためのシステムなど、プロセス監視のためのさまざまな要件を満たすように設計されています。パターン指示、イメージング、欠陥レビュー、再処理などのツールが組み込まれています。これらのツールにより、検査と欠陥解析の効率的なラインが可能になり、プロセス全体をスピードアップします。RS-35Cはまた、正確なデータキャプチャと分析を保証するためにビジョンテクノロジーを使用しています。ビジョンモデルは、CCDカメラと高度なソフトウェアアルゴリズムを使用して、ウェーハの欠陥と他のウェーハ特性を識別および分析します。手作業による検査で見逃した可能性のある最小の欠陥でも識別することができます。KLA RS 35Cは、直感的なユーザーインターフェイスと包括的なヘルプとサポートメニューを備えた使いやすさのために設計されています。これは、市場で最も信頼性の高い計測およびウェーハテストシステムの1つであり、多くの大手チップメーカーのためのゴーツー機器です。これは、正確かつ正確な測定を提供することができ、テストが設計されたように正確に行われることを保証します。
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