中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #293795434 を販売中

KLA/TENCOR RS-35C Wafer Testing and Metrology Equipmentは、半導体製造プロセスで使用するために設計されたマルチアプリケーション計測ツールです。ウェーハとパッケージの両方について、ウェーハのテストと検査において最高の要件を満たすことができます。KLA RS 35Cは、薄膜厚、表面粗さ、平坦度測定、粒子汚染検出など、半導体分野でさまざまなアプリケーションを可能にするモジュールを提供しています。このマルチアプリケーションメトロロジーシステムは、線形可変フィルターやレーザーベースのサブシステムを含む先進的な光学系を採用し、高速で正確な測定を提供します。このユニットのイメージング機能には、スプリットフィールドキーフィールド画像取得マシンが含まれており、幅広いウエハの特徴とパターンを正確に検出および測定できます。TENCOR RS 35 Cは、自動ウェーハアライメントツールと、ウェーハの自動ロードとアンロードのための自動認識アセットも備えています。この自動ウェーハアライメントモデルは、最大40ミクロンのアライメント精度を実現します。自動化されたプロセス制御装置は、RS-35Cが品質管理と歩留まり管理を確実にするために製造ラインと自動的に統合することを可能にします。このシステムは、トレンド制御、プロセス内の結果生成、統計プロセス制御、データマイニングのための処理および分析ソフトウェアと統合することができます。RS 35 Cはまた、リアルタイム計測計算のためのアルゴリズムの範囲を備えています。これらのアルゴリズムにより、複雑な構造やサーフェス上の複数のフィーチャータイプの同時計測が可能になります。KLA RS-35Cは、50X倍率までの高い再現性と精度を可能にする堅牢な機械設計を備えています。また、光学系には独自のコーティング技術が採用されており、より高い反射率と画質の向上を実現しています。TENCOR RS 35Cは、他の計測ツールと組み合わせることで、効率的で費用対効果の高い計測ツールキットを作成し、半導体業界の製品品質を向上させることができます。さらに、TENCOR RS-35 Cはリモート診断、リモートサービス、およびその他のテクニカルサポートを可能にするため、ユーザーは必要なサポートをすばやく得ることができます。