中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9284480 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35は、半導体ウェーハ製造および試験用に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウム、リン酸インジウムなど様々な半導体材料の測定・検査に使用される多機能・高性能システムです。このユニットは、高度な光学、電気、およびサーマルプロービング技術を組み合わせて、ウェハの表面形態、電気特性、および化学組成に関する重要な情報を提供します。KLA RS35は、ウェーハテストの精度と精度を向上させ、ユーザーはウェーハの表面特性の完全性について高水準の定量的かつ定性的な決定を行うことができます。TENCOR RS 35は、2次元光学プローブスキャンおよび電気試験を含む高解像度の自動測定ツールと、オンラインメトロロジーシステムを内蔵しており、正確な現場測定が可能です。この機械の2次元光学プローブのスキャン機能は、表面の地形を測定する機能と、傷、バンプ、ピットなどの検出機能をユーザーに提供します。電気試験により、さまざまなウェハ材料の抵抗、静電容量、インダクタンス、および電流漏れを測定できます。さらに、計測システムは、個々の層の厚さ、実際の層とフィーチャーのサイズ、トレンチの深さなど、重要な寸法の自動測定を可能にします。TENCOR RS35は、さまざまな製造プロセスや材料のニーズに対応するためにさまざまなモードで動作し、最適な工具性能と堅牢性を確保できます。これらのモードには、手動操作、自動化された操作、および統合されたバッチモードが含まれます。高度な冷却機能により、プロセスの信頼性が向上し、選択したウェーハ材料に適した温度を維持できます。さらに、統合された位置決めシステムにより、試験中のウェーハの簡単かつ正確なアライメントが可能になり、精度が保証されます。さらに、このアセットはモジュラーアーキテクチャで設計されており、ユーザーはKLA/TENCOR/PROMETRIX RS35を構成し、材料、プロセス、アプリケーションなどの業界固有の要件に適合させることができます。これにより、お客様は特定のニーズに合わせてカスタマイズされたソリューションを作成できます。全体として、PROMETRIX RS35ウェーハ試験および計測モデルは、幅広い半導体ウェーハ製造および試験アプリケーションに最先端の精度、精度、および信頼性を提供します。高度な光学、電気、熱確認機能、および統合された計測システムは、ウェーハの表面特性に関する重要な定性的および定量的な決定を行うために必要な情報をお客様に提供します。