中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9284324 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35は、高度な計測機能を提供する高精度のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ上の特性評価、プロセス制御、欠陥のレビューおよび分析を提供し、ウェーハおよびデバイスの最も詳細で正確な分析を提供します。最先端の画像取得ユニットを使用して、最大1000 x 1000ピクセルの2Dおよび3D画像を素早くキャプチャします。KLA RS35はあらゆるステップを通して自動的にオペレータを導き、10cmまでのスキャン範囲を持つ電動ステージを備えた高解像度の光学機械を組み込みます。スキャンプロセス中に自動機能の識別と最適化を保証する高度なアルゴリズムが装備されています。TENCOR RS 35は、フラット構造、ライン幅、ステップハイト、テラス構造などの半導体ウェーハ上の高精度デバイス機能の開発を支援するために設計されています。これは、より適切な特性評価のために、光学散乱法やフーリエ変換赤外分光法を含む計測ツールの範囲を備えています。これらのツールを組み合わせることで、研究中のデバイスを包括的に可視化するだけでなく、そのさまざまな属性を非常に正確かつ正確に測定することができます。KLA RS-35には、欠陥、画像、パラメータ計算などのデータ分析用のソフトウェアツールと、データレポートおよび管理に必要なすべてのツールがさらに装備されています。データ解析機能により、リアルタイムの3D製品の可視化により、欠陥や不規則性を検出できます。さらに、それは他のKLAシステムに接続することができ、自動プログラム転送と強化されたデータ同期を可能にします。全体として、RS-35はウェーハテストと計測における最新の技術とリソースを備えた高度なツールです。その機能、精度、使いやすさは、半導体ウェーハ上の高精度デバイス機能の分析と開発に最適です。