中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9194116 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35は、薄膜やその他のパターン化された表面の効率的な分析を容易にするように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高いスループットと精度のために最適化されており、最大の効率と最小限の人間の介入で大量の生産量を処理することができます。この装置は、KLA独自の画像処理ソフトウェアと、スキャン電子や原子力顕微鏡などの高度な光学計測ツールを使用して、ウェーハ表面のフィルムの特性を測定します。これには、サンプルからの線幅、ピッチ、クリティカル寸法、およびサーフェストポグラフィなどのインデックスが0.1µmに小さいものが含まれます。KLA RS35には自動自己校正機能が搭載されており、イメージングマシンの精度を保証し、誤差を最小限に抑えて正確な測定を保証します。TENCOR RS 35は、複雑な欠陥形状および欠陥解析および電気試験のためのウェーハ反りに対応するように設計されています。これにより、ショーツ、開口部、ライン端の粗さなどの微妙な欠陥を検出することができます。また、ラインエッジ、ビア、コーナーなどの機能を高速に識別できる高度な機能認識モジュールも搭載しています。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35には、ユーザーの生産性を最大限に高めるために設計された他の多くの機能が含まれています。これらには、LCDタッチスクリーン、手動オーバーライドオプション、リアルタイムストリーミング、および測定の完全なトレーサビリティが含まれます。これらの機能により、ウェーハの迅速なデータ収集と分析が可能になり、大幅な時間節約が可能になります。PROMETRIX RS 35も適応性が高く、ユーザーは特定のウェーハテストと計測ニーズをカスタマイズできます。このツールは、複数のウェーハサイズ、さまざまな種類の光学ツール、いくつかのタイプのロボットウェーハハンドラ、および幅広い顕微鏡およびSEMイメージング領域と互換性があります。KLA RS 35は、信頼性の高いハイスループットウェーハテストと計測資産をお探しのお客様に最適なソリューションです。最先端の機能、自動化された操作、多目的な設計を備えたこのモデルは、今日の市場で最も効率的で費用対効果の高いモデルの1つです。