中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9156670 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35 Wafer Testing and Metrology装置は、ウェーハのテスト、検査、計測に信頼性の高い、正確で強力なソリューションを必要とする集積回路メーカー向けに設計されています。このシステムは、ウェーハハンドラ、カスタム制御ユニット、光学および機械計測ツール、およびさまざまなセンサーなど、いくつかのモジュラーコンポーネントで構成されており、特定のデバイス測定およびテスト構成のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。統合されたウェーハハンドラは、3軸モーションコントロールマシンを備え、最大200mmのウェーハの正確で反復可能な動きを提供し、迅速なウェーハの位置決めと回転を可能にします。ウェハテストおよび検査のために、KLA RS35には、エッジ検査ツール、金型展開およびフォルト識別アセット、および金型解析モデルなど、高度な光学、機械、および電気計測システムが装備されています。さらに、TENCOR RS 35には、集積回路上の特定の特徴やパターンを測定または検査できる高度な計測ツールであるマルチセンサーイントロゲータ（MSI）と、ウェーハの表面トポロジを測定するために使用されるASEC （Surface Topology Detector）が含まれています。また、4ヘッドの光学顕微鏡、画像データをキャプチャするための高速CCD検出器を備えています。さらに、RS 35には、AutoScan、エッジ検査、フォルト識別、ダイツダイ測定のための自動化されたシステム、顕微鏡および計測システム用の自動焦点ユニットであるAutoFocusPro、および柔軟なデータトレンディングソフトウェアであるAutoTrendなどの高度なプロセス制御ソリューションが含まれています。統合されたKLA RS-35ソフトウェアスイートは、ウェーハトラッキング、キャリブレーション、アーカイブなど、ハードウェア、ソフトウェア、およびデータ管理の完全なツール制御を提供します。全体として、RS-35 Wafer Testing and Metrology Assetは、ハイエンドのウェーハ試験および検査のための包括的なデバイスであり、集積回路生産のための信頼性の高い包括的なソリューションを提供します。このモデルの精密なツールとインテリジェントなプロセス制御と使いやすいソフトウェアスイートは、比類のない性能と結果の正確さを提供し、デバイスメーカーは自信を持って最高品質のチップを生産することができます。