中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #293798689 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35は、最大200mmまでのシリコンウェーハのデバイスパラメータを正確に測定できる包括的な非接触計測プラットフォームを提供するために使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、抑制的な人工知能（AI）技術、高度なパターン認識アルゴリズム、および高解像度イメージングを組み合わせて、半導体デバイスの物理的特性を識別、分離、および正確に測定します。KLA RS35ユニットには、オンウェーハおよびゾーンレベルのトポグラフィの両方を高速かつ効率的に測定できるデュアルモードイメージングマシンなど、スループットと精度を向上させるように設計された多種多様な機能が搭載されています。この機能により、高さおよび幅の測定機能を1nmの精度で、ローカルおよびグローバルの両方の機能を正確に分析できます。また、TENCOR RS 35には、60nmという小さなクリティカルパターンの特徴を高解像度でマッピングし、解析するために特別に設計された次世代イメージングツールが組み込まれています。これにより、接触およびゲート構造およびその他の重要なデバイス要素の正確な特性評価が可能になります。また、高効率画像処理エンジンは、さまざまなウエハ構造から収集したデータを素早く処理することができ、半導体の製造工程に関連する独自の構造や構造を容易に特定することができます。RS 35には、リアルタイムの画像補正と自動処理とソフトウェア駆動のインテリジェンスを組み合わせることで、既存の方法で改善される高度なデータ分析パッケージも含まれています。これにより、アセットはさまざまな検査タイプにすばやく適応し、既存のアプローチによって見逃される可能性のある微妙なパターンを特定できます。最後に、PROMETRIX RS 35には直感的なオペレータインターフェイスと高度に自動化されたウェーハハンドリングモデルが付属しており、最大50のウェーハステージを信頼性の高いサポートを提供します。これにより、ウェーハの手動積み降ろしを必要とするシステムよりも、機器の方がはるかに効率的で生産性が高くなります。RS35は、半導体デバイスの特性評価と解析に適した汎用性と強力なシステムです。高解像度イメージングユニット、画像処理エンジン、高度なデータ解析ソフトウェアにより、デバイスのパラメータを高速かつ正確に測定できます。直感的なオペレータインターフェイスと自動ウェーハハンドリングマシンにより、使いやすく、より効率的で生産的な製造ソリューションを提供します。