中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #293628450 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35は、半導体基板およびデバイスを検査および測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、パターン化されたウェーハテストと計測において最高のパフォーマンス、精度、およびクラス最高のスループットを提供する幅広い機能を提供します。KLA RS35は、6軸ロボットステージと高分解能干渉測定装置を使用して、厚さ、平坦度、均一性などの幅広いウェハ特性を測定できます。また、非接触散乱計、投影スティグメトリー、レーザー回折などの高精度な計測技術を搭載しています。また、高解像度のイメージングマシンを備えており、小型形状の測定、詳細な表面テクスチャなどの高度なイメージング機能を提供します。このツールは、統合されたアーキテクチャのため、信頼性が高くメンテナンスフリーであるため、従来の光学システムは不要です。さらに、クラス最高のデータ処理と分析を自動化することで、アセットのパフォーマンスが向上し、生産性と一貫性が最大限に向上します。TENCOR RS 35はまた、精度と生産性をさらに向上させるさまざまな高度な機能を提供します。これらには、層厚測定、線幅測定、CDミスマッチ測定などの特定のタスクの高度な分析機能が含まれます。また、高度な可視化と高度な照明技術を備えており、パターンを分析します。さらに、信頼性試験用のプロセス制御装置、デバイスおよび回路特性評価用のCMOSイメージングシステムなどの特殊な解析システムも搭載されています。TENCOR RS35は、高度で高性能なウェーハテストおよび計測ユニットであり、パターン化されたウェーハテストおよび計測において最高の精度とスループットを提供することができます。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35は、包括的な機能、高度な分析機能、高度な視覚化と照明技術を備えており、あらゆるウェーハテストや計測アプリケーションに最適なソリューションです。