中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9206414 を販売中

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ID: 9206414
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2007
Resistivity measurement system, 8"-12" Tool has possible exposure to gold Dual FIMS loader Wafer shape: SNNF Computer unit Measurement unit includes: (2) Probe heads A&B Wafer handler: ASYST DFIMS 300 with ISO ports 2007 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 from KLAは、高度な計測技術と直感的なユーザーインターフェース要素を組み合わせた、高性能なウェーハテストおよび計測機器です。その高いスループット、精度、再現性により、故障解析、パターン化されたウエハテスト、光学欠陥検査など、さまざまな要求の厳しいアプリケーションに適しています。KLA RS-100の中核には、モーター式のZステージおよび高さマッピングアレイを備えた高度な光学システムがあり、ウェーハ特性を高精度に測定することができます。このユニットのメカニクスは、スムーズな動作を提供するように設計されており、ドリフトと振動が少なく、ナノメートルスケールの精度を提供します。先進的な光学機器に加えて、TENCOR RS100にはテストと検査のためのさまざまなツールが装備されています。光源アレイとイメージングシステムにより、光学欠陥検査、光源スキャン、および裏面ウェハ検査タスクを実行できます。光学パターン認識アセットにより、複雑なパターンでウェーハの欠陥を識別することができます。計測ツールのフルスイートも含まれており、厚さ、抵抗、シート抵抗、シート容量などの測定を提供します。TENCOR RS-100には、操作が簡単な直感的なユーザーインターフェイスが含まれています。インテリジェントなユーザーガイダンスモデルが含まれており、特定のアプリケーションに最適なテストまたは検査設定、および失敗したテストの自動再実行オプションが自動的に提案されます。ユーザーインターフェイスの直感的な性質はまた、最小限のトレーニングで機器を操作することを可能にします。最後に、RS100システムは、特定のアプリケーションの範囲のニーズを満たすために拡張可能でカスタマイズ可能であるように設計されています。複数のウェーハステージやさまざまな試験治具などの追加機能を利用でき、ユニットをさまざまなタスクに適応させることができます。全体として、PROMETRIX RS-100は高度にカスタマイズ可能で拡張可能な高性能ウェーハテストおよび計測機です。高度な光学系、包括的なテストおよび検査機能、直感的なユーザーインターフェイス、拡張性を備えたKLA RS100は、要求の厳しいウェーハ計測アプリケーションに最適です。
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