中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9123627 を販売中
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販売された
ID: 9123627
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2006
Resistance mapping system, 8"-12"
Single open cassette handler
Robot: ATM-107-2-S-CE-S293
Single fork
Controller: 6-0002-0865-SP
Trackball and keyboard standard
Alignment system: Camera
Factory automation: E40, E94, E90, E87
PC Configuration
CPU: PIII 850 MHz
Memory: 512 MB RAM
70 GB Fixed hard disk drive
17" VGA Monitor
CD-ROM Drive
Diskette drive capacity: 1.44 MB
Software configuration:
OS: Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version: 2.31.04
Resistivity tester firmware: 1.02a
Measurement specification:
Measurement range: 5m Ohm/sq - 5m Ohm/sq
Absolute accuracy: 1% of NSIT certified range
Temperature accuracy: 0.5°C
Temperature repeat-ability: 0.2°C
Routine check: 1-30 sites programmable
Single or dual configuration capability
220 V, 15 A, 50/60 Hz, 1 Phase
2006 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100ウェーハテストおよび計測機器は、薄いウェーハの検査と特性評価のための多目的ソリューションです。特許取得済みのグリーンレーザー技術と高度な画像処理アルゴリズムを使用することで、繊細なサンプル表面の非接触検査の精度、速度、再現性が向上します。10nmから10mmまでの高精度な測定が可能で、半導体計測・リソグラフィからフラットパネルディスプレイ、太陽電池計測・検査まで幅広い用途に適しています。システムの主な機能は次のとおりです。低エネルギーグリーンレーザーユニットの使用、優れた解像度と電力安定性を提供します。その結果、追加のフォーカシングマシンやサンプルの準備は必要ありません。2.自動化された画像処理アルゴリズムだけでなく、完全なプログラマビリティと操作の堅牢性を提供します。3.10nm〜10mmの広い測定範囲。4.高精度と再現性。5.ボンディングとスタッディングサインオフ機能。6.高いオーバーレイ精度、サブ50 nmの範囲で動作します。7.シングルチップで必要な測定値をすべて得るために、ウェハレベルで処理します。8.欠陥の分類、地形および横断面のイメージ投射。9.異なったタイプの欠陥を検出し、隔離する機能。さらに、高度な基板処理技術と、特定の要件に合わせて組み合わせることができるさまざまなコアシステムとオプションが含まれています。ウェーハ位置決めセンサやアクチュエータ、高度なパターン認識ソフトウェアなどがあります。これらのすべての機能により、KLA RS-100は、複雑なウェーハ計測および検査アプリケーションに優れた性能、精度、および適応性を提供します。
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