中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9072401 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100は、1つのモジュラー自動プラットフォームで優れたパフォーマンスを提供する画期的なウェーハテストおよび計測システムです。このプラットフォームには、欠陥レビュー、ボンディング、レチクルパターン、反射率、地形など5つの重要なプロセスが含まれています。欠陥レビュープロセスは、ウェーハの欠陥をスキャンし、包括的な欠陥レポートを作成します。このレポートでは、ウェーハの欠陥やエラー（位置、種類、重大度など）について説明します。このプロセスは、追加の光学機器を必要とせずに25nm程度の小さな機能を検出することができます。このボンディングプロセスにより、信じられないほど高速なサイクルタイムで信頼性の高いワイヤーボンドとリボンボンドを作成できます。このプロセスは、正確な圧力制御アルゴリズムを使用して、ウェーハの品質と状態に関係なく正しい結合力が適用されることを保証します。さらに、このプロセスはあらゆるサイズのウェーハを結合することができます。レチクルパターンプロセスにより、ウェーハ上のレチクルイメージを正確に複製できます。このプロセスは信頼性が高く、高度なアルゴリズムを使用して正確な制御と精度を実現します。また、アルミニウム、シリコン、金など様々な素材基板にレチクルパターンを複製することができます。反射率プロセスは、機械的な調整を必要とせずにウェーハの反射率を正確に制御します。これにより、制御された高精度な反射出力が可能になります。トポグラフィープロセスは、ウェーハの薄型化と接合準備のためのウェーハ表面の詳細な測定を行います。このプロセスは完全に自動化されているため、手作業の必要はありません。全体として、KLA RS-100ウェーハテストおよび計測システムは、ウェーハテストおよび計測アプリケーション向けの自動および高性能プラットフォームを提供します。5つの中央プロセス、高度なアルゴリズム、正確な制御、高精度を備えたこのシステムは、試験および計測の専門家に最適です。