中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #293628453 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100は、強力でありながら汎用性の高いウェーハテストと計測システムです。高度な計測技術を使用して、プロセス制御とデータ分析を強化し、ウェーハ処理における迅速かつ正確な意思決定を可能にします。KLA RS-100は、試験室や狭いスペースに最適なコンパクトデザインを取り入れています。スペース効率に優れたモジュラーアーキテクチャには、デュアル構成またはクアッド構成のいずれかで注文できる高解像度光ディスオーバーシステム（ODS）が含まれています。これにより、CD、フォーカス、ノッチ、オーバーレイなど、最大4つの特定の測定を同時に行うことができます。さらに、ODSの十分な大きさのサンプルチャンバーは、フルレンジの照明でより大きなサンプルを検査するのに理想的です。TENCOR RS100の性能は、高度な解析アルゴリズムを使用してさらに強化されており、パターンとダイサイズのバリエーションと多くの測定値をシームレスに比較することができます。また、堅牢なソフトウェア機能により、表面形状、プロファイル、オーバーレイ、線幅、欠陥、画像解析など、さまざまな測定モードで精度、速度、柔軟性を提供します。また、優れたオーバーレイアライメント、ライン幅の測定など、フィーチャーレベルで正確に測定することが困難な機能も備えています。RS-100は、ウェーハテストと計測に最適な多くの機能を備えています。統合された光学系は優れた再現性と精度を提供し、オートメーション機能は迅速で簡単なセットアップと操作を可能にします。人間工学に基づいた設計には、大規模なタッチスクリーンパネルと、セットアップ時間を短縮し、ガイダンスを提供し、ユーザーエラーを最小限に抑える内蔵のヘルプ機能を備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスが含まれています。また、高速双極および極性照明、4倍の電子ズーム、半透明の光学バックライト、およびサーマルおよび周囲温度コントローラとの統合などの高度な照明機能を備えています。また、KLA RS100はKLA Data Acquisition and Analysis Software （DAS）と互換性があり、ユーザーはデータを分析してプロセスの傾向を特定し、より正確なデータ分析を実行することができます。全体として、RS100はテストと計測のニーズに最適です。さまざまな測定、プロセス、アプリケーションに適したさまざまな機能と機能を提供します。モジュール設計、優れた光学、分析機能を備えたTENCOR RS-100は、精度と速度を提供し、ウェーハテストと計測に最適です。