中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #192556 を販売中
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販売された
ID: 192556
ヴィンテージ: 2004
Resistivity measurement system
300mm single FOUP handler
Hardware Configurations
Computer
P3 733MHz
256MB RAM ◊ 38GB Fixed hard-disk drive
17-inch color VGA monitor or flat-screen LCD
CD-ROM drive
3.5-inch diskette drive, 1.44MB capacity
Handler
25 slots 12” wafer with 12" ASYST SMIF FL load port
SBC: 486E
Controller: ESC-218BT Rev. 4.0
Robot: ATM-407B-1-S-CE-S293
Finger Type: Single Fork
Alignment System: Camera
Factory Automation: E40, E94, E90, E87
Weight: 682 kg (1,500 lbs)
Dimensions
Height: 183.2 cm (73.1")
Width: 134.2 cm (52.8")
Depth: 175.3 cm (69.8")
Software Configurations
OS : Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version 2.31.04 20051031 Debug
1.02a RS-100 Resistivity Tester Firmware
Measurement Specifications
Measurement Range: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq
Absolute accuracy: ±1% of NIST certified range, based on NIST(NBS) standard wafers corrected to 23oC
Measurement Repeatability: < 0.2% (1σ), based on KLA-Tencor’s “Probe Qualification Test”, 1 inch test diameter, using the appropriate probe head.
Edge Exclusion: 1mm from edge of film, using the appropriate probe head.
Temperature Accuracy: ±0.5oC
Temperature Repeatability: ±0.2oC
Measurement Capabilities
Routine check: 1-30 sites programmable
XY map: up to 1,200 sites programmable
Single or dual configuration capability
Analysis Capabilities
Contour/3-D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites • Probe qualification test: 20 sites, programmable radius
Trend and SQC charts
Histograms
Calibration curves for low dose monitoring
Throughput (5-site): 85WPH
Data Transfer Capabilities
SECS-II, RS232 communication
Enhanced SECS-II for fully automated operation
2004 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100は、半導体ウェーハの詳細な分析を提供するプロフェッショナルなウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、KLA最先端のウェーハ検査および計測技術のパワーと柔軟性と、TENCOR Axiom Advanced Process Control Suiteの高性能な処理速度を組み合わせています。この包括的なユニットは、ウェーハジオメトリ、オンウェーハ欠陥、および自動計測結果の包括的な特性評価を提供し、お客様がファブ内の重要なプロセス制御の問題に迅速に対応できるようにします。KLA RS-100は、高度な光学アーキテクチャを活用して、高解像度イメージング、高速データ取得、低ノイズイメージングを提供します。高解像度デジタルカメラと、最適化されたウェーハカバレッジと電力検出用に設計された独自の高数開口光学を備えています。統合されたZoomおよびFocusシステムは、最も困難なプロセスでも信頼性の高いデータ分析のための高解像度、低ノイズ画像を保証します。このマシンは、ダブルパターニング、EUV （Extreme Ultra Violet）スキャナ、エッチングゲート、その他のさまざまなプロセスにも対応しています。このツールは、PROMETRIXのAxiom Advanced Process Control Suiteを使用して、ピッチとピッチの変化、OPCレジーム抵抗、クリティカルな寸法、フォーカスの深さなど、さまざまな重要な欠陥と測定パラメータを正確に分析します。報告されたすべての結果は、リアルタイムプロセスパラメータ、シリーズおよびロット統計と相関し、時間の経過とともにプロセスの完全な特性評価を行います。この情報は、洞察に富んだ分析を提供し、プロセスのより良い制御を得るために利用され、ユーザーはプロセスの欠陥を特定し、必要な調整を効率的かつ迅速に行うことができます。標準的な統計分析に加えて、TENCOR RS100は高度なAI駆動戦略を提供し、プロセスの傾向の高度な検出と分析を可能にし、プロセスの改善と最適化を可能にします。このアセットを使用すると、ターゲット値やフィードバックデバイスを素早く設定するために必要なデータを提供することで、プロセス制御プログラムを自動的に確立および維持できます。さらに、このモデルは、リアルタイムで提示された数十のチャートでビジュアルレポートを生成することができ、簡単なデータアーカイブと共有のために、複数のフォーマットに直接エクスポートすることができます。PROMETRIX RS-100装置は、清潔さ、信頼性、メンテナンス性の低い設計で、直感的な操作のためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。このシステムは、プロセスの障害に迅速に対応し、プロセスの問題を特定し、運用チームと迅速に通信する必要があるお客様に最適です。KLA RS100により、お客様はプロセスが効率的かつ確実に実行されていることを安心できます。
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