中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #168088 を販売中
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販売された
ID: 168088
ウェーハサイズ: 8"-12"
Resistivity measurement system, 8"-12"
Single open cassette station
Hardware Configurations:
Computer:
P3 733MHz
256MB RAM
38GB Fixed hard-disk drive
17-inch color VGA monitor or flat-screen LCD
CD-ROM drive
3.5-inch diskette drive, 1.44MB capacity
Handler:
25 slots 12” wafer with 12" ASYST open cassette load port
SBC: 486E
Controller: ESC-218BT Rev. 4.0
Robot: ATM-407B-1-S-CE-S293
Finger Type: Single Fork
Alignment System: Camera
Factory Automation: E40, E94, E90, E87
Software Configurations:
OS : Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version 2.31.04 20051031 Debug
1.02a RS-100 Resistivity Tester Firmware
Measurement Specifications:
Measurement Range: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq
Absolute accuracy: ±1% of NIST certified range, based on NIST(NBS) standard wafers corrected to 23oC
Measurement Repeatability: < 0.2% (1σ), based on KLA-Tencor’s “Probe Qualification Test”, 1 inch test diameter, using the appropriate probe head.
Edge Exclusion: 1mm from edge of film, using the appropriate probe head.
Temperature Accuracy: ±0.5°C
Temperature Repeatability: ±0.2°C
Measurement Capabilities:
Routine check: 1-30 sites programmable
XY map: up to 1,200 sites programmable
Single or dual configuration capability
Analysis Capabilities:
Contour/3-D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Probe qualification test: 20 sites, programmable radius
Trend and SQC charts
Histograms
Calibration curves for low dose monitoring
Throughput (5-site): 85WPH
Data Transfer Capabilities:
SECS-II, RS232 communication
Enhanced SECS-II for fully automated operation
Currently installed in cleanroom
2004 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、半導体産業のための技術の第一歩であり、生産プロセスに関連する時間とコストを削減するダイナミックで信頼性の高い経験を提供します。このシステムは、ナビゲーション、検査、計測ツールを1つのプラットフォームに統合し、柔軟性、精度、速度のユニークな組み合わせを提供します。KLA RS-100は、その正確な位置をマッピングし、サイズ、形状、欠陥特性を測定する統合ナビゲーションユニットを備えたウェハ上を移動することによって動作します。このナビゲーションは、ウェーハ独自のシリアル番号とバーコードを読み取るビジョンマシンによって支援され、データ追跡、分析、およびストレージ機能を提供します。このツールには、精密なエッジ検出、平坦度測定、および材料の臨界寸法均一性のためのマルチセンサ計測技術も装備されています。TENCOR RS100によって収集されたデータにより、エンジニアはウェーハの欠陥を迅速かつ正確に特定および定量することができます。この資産は、傷、バンプ、グリットなどのさまざまな欠陥、ならびに粒子および粒子汚染物質の含有物を検出することができます。また、アルカリや酸性粒子、軽い材料、有機汚染物質などの異物も検出できます。この高感度検査能力により、RS-100はウェーハの清浄度を検証するデファクトモデルとなりました。この機器は高度にカスタマイズ可能で、複数の波長を持つ光源や高解像度カメラなど、さまざまなツールが含まれています。PROMETRIX RS-100にはさまざまな測定機能が搭載されており、ウェーハの形状、サイズ、組成を測定できます。エンジニアは、単一および複数のウェーハに関する情報を1回の実行で取得し、このデータを使用して、生産プロセスを最適化する方法についてより情報に基づいた意思決定を行うことができます。KLA RS100は使いやすく、メニュー駆動のタッチスクリーンインターフェイスとネットワークスケジューラを内蔵しています。高品質なフィードバックと追跡可能なレポートにより、生産プロセスの効率が向上し、各ウェーハから収集されたデータに基づいてエンジニアが迅速な意思決定を行うことができます。RS100 Wafer Testing and Metrology Systemは、半導体業界にとって革新的で信頼性の高いソリューションです。詳細な目視検査、計測、自動化されたデータトレーシング機能のバランスを提供し、費用対効果の高い品質管理と効率的な生産を実現します。
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