中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox #9193136 を販売中
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ID: 9193136
Wafer measurement system
Chuck: 8"
Open cassette with BROOKS PRI single end effector robot handler
Dual open cassette
Measurement head: LD / CO
Oven
Signal tower
UPS: No
Hardware configuration:
Load port: (2) Open cassette stations
Quickmap head
PDU
FG1 / FG2
Facilities:
Input power: 200 VAC +/-5%, 50/60 Hz
Input vacuum: 610 mm Hg
Input CDA: 75-100 PSI
Input N2: 75-100 PSI
Exhaust: 2000-4000 L/min
Currently crated.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantoxは、生産およびR&D環境で使用するために設計された完全に統合されたウェーハテストおよび計測機器です。KLA Quantoxは、さまざまな強力な機器を備えており、包括的なウェーハメトロロジーとテスト機能を提供します。基板ホルダー、計測ツール、ウェーハ検査装置、コンピュータ制御装置で構成されています。基板ホルダーは、さらなる加工のために研磨ウェーハを配置するツールの基盤です。通常、自動ローダーまたは手動ローダーであり、ウェーハを機械に素早く正確にロードできます。TENCOR Quantoxの計測ツールは、フル機能のマイクロ光学計測資産です。フォーカスと倍率の自動制御モデルを使用して、最大4つのウェーハを同時に測定します。その強力なレーザーオプティクスはウェーハ上の特徴を測定し、マルチセグメントオプティクスは自動フィットと仕上げを提供して正確な測定を保証します。ウェハ検査装置も強力なツールです。ユニークな光学システムを利用して、ウェーハ表面に粒子やその他の異物の存在を検出します。また、X線、電子ビーム、蛍光顕微鏡など、ウェーハ表面の詳細な解析を可能にするさまざまな検出技術を備えています。Quantoxのコンピュータコントロールユニットは、最大限の柔軟性と使いやすさを実現する堅牢で広範な制御環境を提供するように設計されています。その直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)は、プロセスマッピング、レシピデータ管理、データ分析、およびその他の特殊な制御機能を含む包括的な制御オプションを備えています。PROMETRIX Quantoxは非常に強力で汎用性の高いウェーハテストおよび計測機です。その特徴と性能は、あらゆる生産環境や研究環境に最適です。包括的なウェーハ表面試験および分析機能を提供し、生産コストを低く抑え、一貫したウェーハ歩留まりの結果を保証します。
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