中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100 #9281357 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100は、半導体ウェーハ上のさまざまな機能を高精度に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、複数のプレーンと機能を同時に分析することができ、さまざまな生産タスクに迅速な納期と簡単な自動化を提供します。KLA Quantox 64100は、ライン幅やピッチ、エッチング深さ、蒸着厚などのタイトなプロセス制御パラメータを測定するために特別に設計されています。3次元（3D）ノイズリダクションソフトウェアを内蔵しているため、手動でのアライメントが不要で、高密度な機能を測定する際に正確な結果が得られます。また、光学計測技術を使用して構築されており、幅広いパラメータにわたって一貫して正確な計測結果を保証します。TENCOR Quantox 64100は、業界をリードする信号対雑音比（SNR）を備えており、正確な測定を実現し、高スループットを維持しながらエラーを最小限に抑えます。このマシンは、可変的な数値開口（NA）の目的を統合しているため、小さなフィーチャーを測定するために素早く調整することができます。その他にも、最大の精度を提供する低ノイズ検出器や、異なる深さの特徴を高解像度の高コントラスト画像キャプチャなどがあります。さらに、測定精度を向上させるためのビームパスの強化、サンプル全体のより正確な測定のための均一な照明を提供するLED照明などの革新を利用しています。PROMETRIX Quantox 64100は、ダイナミックレンズコンペンセータ（DLC）とレンズ散乱経路（LSP）補償技術も内蔵しており、長時間の作業距離を確保し、異常光路現象を低減します。さらに、このアセットには、自動化された多次元フィーチャー認識用のEDENフィーチャー測定ソフトウェアが付属しており、測定時間を大幅に短縮します。全体として、Quantox 64100は、厳密なプロセス制御を必要とするアプリケーション向けに特別に最適化された信頼性の高いウェーハテストおよび計測モデルです。高度なノイズ低減、ビームパスの強化、均一な照明、DLC技術、多次元機能認識などの機能により、今日のハイテク産業のニーズを満たす一貫して正確で高精度な結果を提供します。