中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100 #9230282 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100 Wafer Testing and Metrology Systemは、自動化されたテストおよび計測システムのフルスイートを1つの統合システムに統合した包括的な自動プラットフォームです。これは、異なるウェーハ材料および技術にまたがるファブからファブまでの完全なウェーハレベルのプロセス機能を提供します。KLA Quantox 64100は、高解像度イメージング、欠陥検出、ウェハレベル測定、歩留まり解析により、ウェハ品質を正確に評価することができます。TENCOR Quantox 64100は、欠陥を検出して報告するために設計された統合イメージングおよび計測システムで、比類のないプロセス安定性と再現性を提供します。1軸および4軸のイメージングシステム、自動欠陥レビュー機能、およびさまざまな光学分光計を備えています。ウェハマッピングツール、フルカラーイメージング、オートフォーカス、高度なコントラスト制御、自動計測ツールを備えています。これにより、3次元（3D） ROM、 RPO、およびWLG値までのパラメータを使用して、土地を正確に測定できます。イメージングおよび計測システムに加えて、Quantox 64100には一連のデータ分析ツールも含まれています。テストおよび計測システムから収集されたデータの統合された自動解析を提供し、プロセスのより深いウェハレベルの理解を促進します。このデータ分析スイートを使用すると、歩留まりとスループットレポート、高度な分析ビジュアライゼーション、予測チャートを生成できます。PROMETRIX Quantox 64100は、石英、シリコン、ポリシリコン、サファイア、セラミックなど、幅広い基板にわたるウェーハの検査、テスト、測定が可能です。また、最高の解像度と精度を必要とする特殊なアプリケーションのための高度なビジョンおよび欠陥認識ソフトウェアなどの高度なオプションも多数提供しています。KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100は、最大の稼働時間と高速な切り替え時間を実現するように設計されており、ユーザーは変更されたプロセス要件を満たす構成をすばやく交換することができます。また、高度なリモート監視および制御機能を備えた自動メンテナンスルーチンと診断サポートも備えています。全体として、KLA Quantox 64100はウェーハテストと計測のための包括的で自動化されたプラットフォームです。ウェハレベルのプロセス制御、高度なイメージングおよび計測システム、および強力なデータ分析ツールを提供します。最大の稼働時間と高スループットを実現し、幅広い基板にわたるウェーハを迅速かつ確実に分析できます。