中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX P22 #9188384 を販売中
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販売された
ID: 9188384
ウェーハサイズ: 8"
Automated surface profilometer, 8"
Automated wafer handler
Open loader for 8"
Computer controlled
Scan method: Moving stage, stationary stylus
Scan length: 205mm (8")
Scan speed: 1 μm/sec to 25 mm/sec (0.04 mil/sec to 1 in/sec)
Sampling rate: 50, 100, 200, 500, 1000 sample/sec nominal
Vertical ranges
Resolution:
±3.2 μm / 0.5 Å (±0.13 mil/0.002 μin)
±13 μm / 2 Å (±0.51 mil/0.008 μin)
130 μm / 10 Å (±5.1 mil/0.04 μin)
Vertical linearity: ±0.5% above 2000 Å, 10 Å below 2000 Å
Stylus control: Programmable force
MHII range: 0.05-50 mg
Resolution: 0.1 mg
Programmable descent rate
Dual view optics
Side view optics: 150-600x
Top view optics: 185-750x and 300-1200x (with user interchangeable lens)
Operations manual.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P22は、試験および検査プロセスの精度と再現性を向上させるように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、半導体部品とウェーハの品質保証を大幅に向上させるビジョン、アライメント、および測定の組み合わせを提供します。Turbina Optics Platformは、従来の画像とウエハーと試験機能の立体立体画像の両方の高速画像処理と解析を提供します。このプラットフォームは、業界標準の2倍以上の1時間に最大265個のウェーハに対して迅速な機能認識と分析が可能です。また、最も基本的なものから最先端のものまで、さまざまなビジョンシステムをサポートしています。KLA P22はまた、高度なウェーハ欠陥検査機能を備えています。これには、単一のウエハで最大5,000個の潜在的欠陥を認識し分類できる自動欠陥検査機が含まれます。これはウェーハ計測機能に加えて、ウェーハ、デバイス特性、およびその他の機能を正確に測定することができます。これらの機能を組み合わせることで、すべてのウェーハが最高の精度と精度でテストおよび検査されるようになります。TENCOR P22は、ウエハテストと検査プロセスを簡素化する直感的なユーザーインターフェイスを備えています。ユーザーは、さまざまなテストと測定設定から選択して、アセットをニーズに合わせてカスタマイズできます。さらに、このモデルは高度なデータ分析機能をサポートしています。データを迅速に評価し、プロセス制御と製品歩留まりを改善するために使用できます。全体的に、P22は、試験および検査プロセスの精度と再現性を向上させるために探している人のための理想的な機器です。高度なビジョン、アライメント、測定、欠陥認識機能により、システムは最高レベルの製品品質と信頼性を確保できます。
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