中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9212478 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20Hウェーハテストおよび計測機器は、生産および研究アプリケーション向けにウェーハの効率的で正確な試験および計測を提供します。この高度なシステムは、テストステージ、測定ユニット、アライメントマシンなど、ウェーハを測定するための多数のコンポーネントで構成されています。このツールのTesting Stage部分は、さまざまなサイズ、形状、厚さ100〜500ミクロンのウェーハをテストおよび分析するために設計されています。ステージには、アクティベーションとコントロールパネルを備えた真空アセットと、手動で操作するX-Yトランスレーターが含まれています。最大6個のウェーハを保持でき、ステージ上でピースを保持するための高さ調整可能なプラットフォームを提供します。ウェーハは、バックグラウンドで実行されているテストプログラムと同時または個別に測定することができます。Measurement Modelには、レーザー干渉計、位置センサ、および高解像度イメージングおよび測定機能用のウェハトラッキングソフトウェアが含まれています。測定装置とウェーハステージを組み合わせて、ウェーハの表面形状と構成を精密に測定します。さらに、ウェーハトラッキングソフトウェアは、欠陥の検出、ウェーハクリティカルな寸法の測定、ウェーハの厚さの変化の追跡を行うことができます。最後に、アライメントシステムは、レーザーダイオードベースの投影ユニットと高精度ビデオカメラの2つのコンポーネントで構成されています。レーザダイオードをウェーハ表面に正確にアライメントすることで、ウェーハ表面を正確に測定・検査することができます。また、ウェーハ内の動きによって発生する可能性のあるアライメントエラーを修正する機能も備えています。KLA P-20H Wafer Testing and Metrology Machineは、ウェーハの正確で効率的なテストと測定のための高度なツールです。ウェーハの表面形状を正確に測定し、欠陥を検出し、重要な寸法を測定し、ウェーハの厚さの変化を追跡できます。高度なアライメントアセットは、ウェーハ内の動きによって発生する可能性のあるアライメントエラーについても修正できます。このモデルは生産および研究の適用にとって理想的です。