中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9111707 を販売中

ID: 9111707
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Surface profiler, 8" Options: SECS / GEM Wafer shape: Semi Notch No Flat (SNNF) Cassette port MIRAIAL KM-803P-K Wafer cassette, 8" PP PC Micro head 1 LF sensor Open handler, 8" STAR JR-100 Graphic printer No SMIF 1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H Wafer Testing and Metrology Equipmentは、さまざまな重要なウェーハ試験および計測アプリケーション向けに設計された、自動化された高精度の計測システムです。高度な設計と高度なソフトウェアアーキテクチャにより、さまざまな測定タスクを正確かつ迅速に実行できます。KLA P-20Hは、一連のダイレクトドライブステージを使用して、表面および複合計測の究極の精度を提供します。ステージにはリードねじとリニアエンコーダ/サーボモータが装備され、高速で高解像度の性能を発揮します。ステージはまた、ドリフトなしで信頼性の高い測定を保証する低重心で設計されています。TENCOR P20Hは、強力な画像認識機と最先端の光学イメージング機能を備えています。高度な技術のこの複雑な統合パッケージは、より高い精度と信頼性でサンプル表面の測定を可能にします。このツールは最大6台のカメラで構成でき、優れたエッジ認識機能を提供できます。画像取得および解析プロセスは完全に自動化されているため、サンプル測定サイクルの高速化と精度の向上が可能です。P-20Hは、複雑な地形を含む様々なサンプルサイズと形状のために設計されています。このアセットにより、臨界寸法(CD)、オーバーレイ、その他の3D計測機能など、さまざまな測定が可能になります。さらに、ウェーハ間ウェーハおよびウェーハ間マスクのアライメント測定用にも設計されています。KLA P20Hは、堅牢なデザインとさまざまな高度な機能を提供します。また、静的、高解像度、低解像度などの3つの異なる測定モードも提供します。静的モードでは、KLA/TENCOR/PROMETRIX P20Hは、他の計測ソリューションよりも高速にデータサンプルを収集することができます。高解像度モードでは、装置はより高い精度と再現性でサンプルデータを収集することができます。最後に、低解像度モードでは、高画質で低ノイズの画像を提供します。PROMETRIX P-20Hは、測定結果のリアルタイムフィードバックとデータアーカイブおよびレポート生成機能を提供するように設計されています。このユニットはまた、ウェーハのテストと検査プロセスの幅広い選択をサポートしています。精度、信頼性、高速性能、高度な機能の組み合わせにより、正確なウェーハ測定を実現するための理想的なソリューションです。
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