中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #293662983 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20Hは、生産レベルの故障解析とインラインウェハメトロジー用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。洗練されたウエハテストシステムを提供し、迅速で高精度な故障解析とルーティングの決定を提供します。このシステムは、高度なプロセス制御（APC）および歩留まり管理操作のための精密表面計測を提供します。このユニットは、効率的なマルチセンサ測定器と強力で構成可能なユーザーインターフェイスを組み合わせており、正確で迅速な分析を行うための統合プラットフォームを提供します。このマシンには、重要な欠陥の迅速な識別と歩留まり解析を可能にする自動ソフトウェアツールも含まれています。KLA P-20Hは、生産レベルのテストの要求を満たすために高速で測定することができます。このツールの高精度、高速、再現性の高い測定機能により、試験および計測結果を提供し、製造エンジニアが困難な製造問題を特定することができます。このアセットは、不透明度、反射率、厚さ、光均一性、粒子サイズなど、さまざまな表面パラメータを測定します。また、ダイマージン、デバイス間隔、オーバーレイ、ライン幅の測定などの重要な機能を測定するように設定することもできます。このモデルは、インライン計測とオフライン故障解析の両方に使用できるさまざまなウェーハテストおよび計測オートメーションオプションを提供しています。ウェーハテストの結果を監視および分析し、データの異常を特定するときはいつでも自動的な是正措置を取るように装置をプログラムすることができます。さらに、高度なビジュアライゼーションツールをサポートしており、トポロジカルおよび幾何学的パターン、および線幅違反、デバイス間のずれ、およびオーバー/アンダー・エッチングなどのプロセス関連の欠陥をすばやく識別できます。TENCOR P20Hユニットにはモジュール設計があり、特定のテストおよび計測ニーズに対応するように構成することができます。これは、中央ユニットと統合または分解することができるいくつかのモジュールで構成されています。各モジュールは、パラメトリックテストや表面計測、同時ウェハ検査、フィーチャー分析、膜厚と抵抗測定など、ウェハテストカバレッジや用途にカスタマイズできます。全体として、P-20Hは、インラインとオフラインの両方のテストを実行できる洗練されたウェーハテストと計測機をユーザーに提供します。このツールのモジュール設計と柔軟性により、生産レベルのテストおよび計測操作、およびプロセスおよび歩留まり管理操作に使用できます。自動化されたテストおよび計測オプションにより、迅速で正確かつ再現性のある測定と意思決定が可能になり、ユーザーは困難なデバイスの問題を迅速かつ効率的に特定できます。