中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9162058 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75は、ウェーハの精密表面検査およびプロセス特性評価用に設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。高度な自動光検査（AOI）装置と高度な統合計測機能を組み合わせ、正確なウェハレベル測定を実現します。このRS-75は、1ミクロン（1 μ m）以上の精度で測定することができ、さまざまなウエハ材料や基板タイプで高解像度のイメージングと測定が可能です。RS-75は、複数の計測技術を1つのプラットフォームに統合した、急速で広範囲の表面解析システムです。5軸ウェーハステージを搭載しており、幅広い用途に対応した統合制御から管理が可能です。5軸移動と高精度測定方法により、広範囲のウェーハを高速でスキャンおよび検査できます。また、高度な光学およびプロフィロメトリックイメージングの統合により、傷、ピット、または汚れなどの不規則な特徴を迅速かつ正確に測定できます。表面検査のために、RS-75は洗練された光学系を備えた効率的な明るいフィールドイメージング技術を採用しています。最大解像度5µmまでのさまざまな構成で画像をキャプチャすることができます。さらに、マルチステージイルミネーションユニットは、さまざまな特徴や欠陥を検出できる伝送、斜め、反射、散乱パターン検査を可能にします。RS-75はまた、精密寸法計測のためのさまざまなツールを提供する高度な計測プラットフォームです。光反射率を用いて表面プロファイルを高精度に測定する非接触3DPro分光技術を搭載しています。また、全方位および非接触技術により、ウェーハの表面を3Dで再構築し、さらなる分析が可能になります。RS-75には、データ収集、処理、分析のための幅広いソフトウェアツールもあります。自動機能認識とパターン比較とは別に、ソフトウェアは解析のために自動的にレポートを生成することもできます。全体として、KLA Omnimap RS-75は、高精度の表面検査とプロセス特性評価用に設計された強力なウェーハ試験および計測機です。自動化された機能認識とレポート作成のためのソフトウェアツールとともに、高度なイメージングおよび計測方法が付属しています。ウェーハメーカーの品質管理とプロセス開発に最適なプラットフォームです。