中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75/TCA #9260211 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75/TCAは、半導体業界の厳しい要求に応えるために開発されたハイエンドのウェーハ試験および計測機器です。この高度なシステムは、生産負荷の低減と高負荷の両方で、最大10インチのウェーハアイテムに対して迅速で正確かつ再現性のあるウェーハレベル試験および計測サービスを提供します。高度な光学設計を採用し、様々な表面フィーチャーや欠陥を正確に測定およびマッピングします。このユニットは、RS-75ウェーハマッピングマシン、TCAマッピングツール、KLA Omnimapなど、ウェーハ分析用に独自に設計された複数のモジュールを備えています。このRS-75は、ウェーハの区別/マッピング、ダイツダイ検査用に特別に設計されており、ロボット支援による自動ローディングとアンロードを提供します。精密な線形エンコーダを備えており、接触のない正確な位置精度を提供します。TCA Mapping Assetは、RS-75ウェーハ上のダイツアライメントのパターン認識を可能にし、適切な欠陥検出と攻撃のための定量分析モデルを備えています。一方、TENCOR Omnimapは、ウェーハとサブダイの両方のレベルで欠陥検査と分析を最適化し、ヒロック、応力緩和パターン欠陥、および小さなブロッチなどの複数のタイプの欠陥を検出できます。この機器には、テストと計測のための包括的なハードウェアとソフトウェアが装備されています。これには、分析のプロセスプランを設定するためのプログラミングシステム、高解像度画像のキャプチャを容易にする高解像度イメージングヘッド、レポートをエクスポートおよび表示するためのデータ取得および分析ツールのライブラリが含まれます。全体として、KLA Omnimap RS-75/TCAは、ウェーハの包括的なテストと分析を提供するさまざまな機能を提供するため、自動ウェーハテストと計測に最適です。包括的なハードウェアとソフトウェア、および堅牢なデータ分析により、最適な精度と再現性を保証します。