中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9276304 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TCは、高度な光検出技術を使用して製造プロセス中および製造後にウェーハの品質をテストする自動ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最大200mmのサイズのウェーハを検査し、0。25umまでの機能を測定するために設計されています。クロマチックコンフォーカルスキャン技術を用いて、ウェーハの高解像度3Dマップを作成し、ウェーハ全体の特徴の高さを正確に測定し、光干渉イメージングにより平坦度やウェーハマクロトポグラフィを高速に検査します。また、モーター付きのXYサブシステムとレーザーダイオード光源を使用して、0。5 μ mの解像度でハイブリッド表面形態測定を行う横断面粗さ測定ツールも備えています。このアセットは、自動化されたウェーハハンドリングモデルと幅広いウェーハインタラクションオプションを備え、完全に自動化され、生産環境に統合されるように設計されています。また、産業グレードのプロセス制御機能を備え、複数のプロセスを監視し、最適なプロセス条件を維持するためのフィードバックを提供します。このシステムは、リアルタイムのウェーハ品質評価を提供し、欠陥を特定してプロセスの均一性を監視するために使用できます。さらに、このユニットは、データ駆動型の高度な分析レポート機能を提供し、継続的な改善に使用できるプロセスの傾向を特定するのに役立ちます。RS-55TCは、ウェーハ検査および計測ソフトウェアで事前にプログラムされているため、特定のアプリケーションに応じてさまざまな試験結果を提供できます。シリコン、ヒ素ガリウム、炭化ケイ素などの異なる材料から作られたウェーハを処理するようにプログラムすることができます。また、このマシンにはSmart Binningアルゴリズムが組み込まれており、認定されたウェーハを識別し、良好な歩留まりを確保することができます。要約すると、KLA OMNIMAP RS-55/TCは、世界の半導体市場のニーズを満たすように設計された自動ウェーハ試験および計測ツールです。このアセットは、高度な光検出技術を使用して特徴を0。25umまで測定し、最適なプロセス条件を維持するための工業グレードのプロセス制御機能を提供します。それは異なった適用および材料のための異なったテスト結果を提供することができ、生産の無駄の歩留まりを改善し、危険を減らすためにスマートなBinningアルゴリズムを組み込みます。