中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55C #9362896 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55Cは、高い生産性と優れた品質測定のために設計された包括的なウェハテストおよび計測機器です。ウェーハの電気的および光学的特性を評価するために、抵抗、膜厚、ドーピング測定などの包括的なプロセス特性評価機能を備えています。このシステムには、2つのスキャンおよび計測ステージが搭載されています。全自動、半自動、および手動の測定ステーションで、200mmから300mmの範囲で幅広いウエハサイズを提供します。また、高精度光学測定ユニットを備えており、高度なウェーハ表面特性評価用のサブミクロン分解能を備えています。RS-55Cには、計測および化学蒸着のための統合された低真空およびマルチガススイッチングが装備されています。また、校正ルーチンも内蔵しており、サードパーティ製の測定光学系の標準セットが付属しています。これにより、正確で再現性のある測定結果が保証され、すべての測定パラメータが厳格な計測基準に準拠していることを保証します。さらに、ウェーハ表面の微細な特徴や構造の位置を測定するための高度な光音響検出も提供し、高精度な加工を実現しています。また、LabVIEWなどのソフトウェアとの統合、および簡単な制御と監視のための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供しています。これにより、計測および測定操作を合理化し、正確で反復可能な結果を確実にすることができます。全体として、KLA Omnimap RS-55Cは、優れた信頼性の高いウェーハテストと計測用に設計された高度な機能の豊富なセットを提供します。高精度の光学プラットフォームと最先端のソフトウェアにより、ウェハ属性の高精度測定に最適です。